双面探针台可从器件上下两侧同步完成精密探触,对晶圆、PCB、光电器件开展电学、光学性能测试。设备一次装夹即可实现双面检测,无需翻转样品,在提升测试效率的同时,进一步保障测试精度。
一、核心结构与工作原理
- 双层独立对位架构设备上下分别配置一套独立的精密探针驱动单元与视觉系统,支持同步或单独调控,可完成上下探针高精度对位。
- 高精密运动平台XY 轴分辨率达 0.1μm,重复定位精度 ±0.5μm;Z 轴搭载压力反馈模块,控压精度 ±1mN,有效防护超薄、易损样品。
- 双路视觉监测上下均配备高清显微镜头,可实时观测两侧探针与电极、焊盘的接触状态,便于实时调校。
- 真空吸附载台采用真空吸附方式固定样品,可稳定夹持 4–12 英寸晶圆、大尺寸 PCB、FPC 及各类异形工件。
二、核心优势
- 测试效率大幅提升:单次装夹完成双面全流程测试,省去样品翻面、二次对位工序,可节约 50% 以上测试时长。
- 定位精度优异:规避翻面带来的定位偏差,整体对准精度可达 ±0.5μm,适配间距≤10μm 的微型焊盘测试场景。
- 测试功能多元化:支持单侧电学测试、单侧光学测试(硅光器件、激光器等),也可实现上下端同步加载 DC/RF 信号。
- 运行模式丰富:提供手动、半自动、全自动多种运行模式,兼顾研发实验、中试及规模化量产不同需求。
三、典型应用领域
- 半导体行业:TSV 三维芯片、IGBT、SiC/GaN 宽禁带功率器件、晶圆级双面电学测试。
- 光电子行业:硅光器件、LD/LED/PD、光耦、太阳能电池(正面光学检测 + 背面电学测试)。
- 电路板领域:高频高速 PCB/FPC 阻抗、损耗检测,双面线路同步测试。
- MEMS 领域:微型传感器、执行器双面电学、力学性能检测。
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四、森东宝双面探针台推荐
CH-8-D 双面点针探针台(CINDBEST)
本款定制化设备专为晶圆、PCB 板设计,满足器件正反面同步扎针测试需求。整机机械结构稳定可靠,设计贴合人体工程学,并搭载多项升级配置,使用体验与综合性能出众。
应用范围
CH-8-D 双面点针探针台可实现晶圆、PCB 板同步光电性能测试,广泛应用于集成电路、晶圆、LED、LCD、太阳能电池等领域,适配产品量产检测与科研实验工作。
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