在半导体、光电芯片、器件研发以及高校实验场景中,小型精密手动探针台是必不可少的核心测试设备。很多实验室纠结进口设备价格贵、周期长、维护成本高,而国产设备精度不稳定、拓展性差。
今天给大家详细介绍一款性价比极高、适配研发场景的国产桌面式探针台——森东宝CS系列紧凑型手动探针台,分为CS-4(4英寸)、CS-6(6英寸)两个版本,也是目前高校、科研院所、中小芯片与光电研发团队用量非常大的一款主流机型。
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一、产品定位:专为精密研发测试而生
森东宝CS系列手动探针台主打桌面小型化、高精度、可拓展、高性价比,核心服务于半导体与光电行业的精密电气测试。
可完成测试项目:
I-V特性测试、C-V特性测试、PIV光电特性测试、直流微漏电测试、高频射频器件测试等。
适用样品:
小片晶圆、分立器件、LED、MEMS传感器、光电芯片、高速半导体器件等,广泛用于新品研发、性能验证、失效分析、教学实验。
二、适配人群与使用场景
这款设备最大的特点就是不挑场地、灵活好用
非常适合:高校实验室、科研院所、芯片设计公司、光电企业、器件研发实验室。
整机体积小巧、重量轻,可直接放置普通实验台面,也可适配手套箱内作业,完美解决传统大型探针台占地大、挪动难、成本高的痛点。
尺寸选择:
✅ CS-4:适配4英寸及以下小片晶圆、各类小型器件✅ CS-6:适配6英寸晶圆,覆盖更广的研发测试需求
三、四大核心优势,成为实验室热门机型
1. 超轻小型机身,人体工学操作
整机尺寸仅400×400×500mm,重量只有26kg,真正的桌面级设备。整机布局贴合人工操作习惯,微调顺滑、扎针手感舒适,长时间实验操作不易疲劳,非常适合高频次研发测试。
2. 高精度手动定位,测试精准稳定
搭载载台+探针座双重精密微调结构,平移、角度微调精度高,可轻松实现微米级精准扎针,应对微小电极、精密芯片器件的测试需求,完全满足常规科研、论文实验、企业研发精度标准。
3. 模块化可拓展,一台多用可升级
整机采用模块化设计,光学系统、探针座、测试线缆、探针规格均可按需选配。支持低漏电测试、高频射频测试功能升级,前期基础配置够用、后期可按需升级,不会出现设备快速淘汰的情况。
4. 国产高性价比,降本增效首选
性能对标进口同级别小型探针台,但采购成本、后期维保成本仅为进口设备的1/3~1/2,交付快、售后响应及时,是目前进口设备最优国产替代方案。
四、核心硬件配置详解
1. 高精度真空样品台
载台支持360°旋转+精细角度微调,微调精度0.1°,带角度锁死,对位更精准。采用中心孔+多圈环形真空吸附,薄片、小片晶圆吸附平整、不易变形。Z轴升降行程8mm,方便快速换样、分离探针。X-Y行程4英寸、重复定位精度10μm,满足大范围样品对位。支持背电极选配,可实现器件正反面同步测试。
2. 开放式U型针座平台
开放式结构视野开阔、操作无遮挡,最多可同时安装6个探针座,支持多通道并行测试,大幅提升实验效率。探针座支持磁力、真空两种固定方式,拆装简单、更换灵活。
3. 超高精密探针座微调
三轴行程可选12mm、20mm两种规格,微调精度最高可达0.5μm,多级精度适配不同精度测试需求,无论是普通直流测试还是精密微电极测试都能轻松胜任。
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