四川
截至2026年9月15日11:20，A股三大指数涨跌互现，上证指数平盘，深证成指涨0.17%，创业板指涨0.01%。
上证科创板半导体材料设备主题指数上涨3.34%，成分股方面涨跌互现，华海清科领涨7.67%，兴福电子上涨6.90%，屹唐股份上涨6.28%，华海诚科上涨5.64%，中船特气上涨4.67%；有研硅领跌0.35%。
国信证券指出，看好半导体设备中低国产化率的环节，其中部分环节的国内龙头正迎来客户导入、订单放量与份额提升的关键窗口。具体来看，先进制程与存储扩产持续增加膜厚、OCD、电子束等前道量测需求，国产设备正由验证导入转向批量采购；晶圆探针台、MEMS探针卡及存储测试机受益于HBM、先进封装和高端芯片测试复杂度提升，加快进入头部客户。
跟踪精度方面，截至2026年9月14日，科创半导体ETF华夏近3个月跟踪误差为0.015%，在同类产品中跟踪精度领先。
科创半导体ETF华夏（588170.SH）：及其联接基金（A类：024417；C类：024418），跟踪指数为上证科创板半导体材料设备指数，其中存储芯片含量超80%，长鑫存储概念含量55%，先进封装含量超67%，聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。
数据来源：Wind，截至2026年9月15日。上证科创板半导体材料设备主题指数表现：指数2021年～2025年完整会计年度业绩为：-5.14%、-25.65%、14.99%、-0.13%、58.42%；指数历史业绩不预示基金产品未来表现。基金有风险，投资须谨慎。提及个股仅用于行业事件分析，不构成任何个股推荐或投资建议。ETF为场内交易型指数基金，二级市场价格存在折溢价与流动性风险，基金表现与跟踪指数可能存在跟踪误差，过往业绩不代表未来收益。
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