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最让中国半导体人如鲠在喉的东西是什么?
一位半导体企业的负责人告诉我,一个是光刻机,一个是光刻胶。
7月27日,美国科技媒体《The Information》报道:上海一家国资半导体企业已实现 DUV 光刻机小批量量产,消息一出,光刻机霸主阿斯麦股价大幅跳水8%。
我查了一下,国内唯一能搞光刻机整机研发制造的企业,只有上海微电子一家,据传首批设备将交付中芯国际、华虹、长鑫存储这些头部厂商。
在好消息的刺激下,张江高科大涨10%,因为子公司张江浩成持有上海微电子 10.78% 的股权。
随后,光刻机概念成为最强板块,除了张江高科,捷众科技、蓝英装备、波长光电、永新光学、海立股份、东方嘉盛全部涨停。
光刻机是整个集成电路产业链最核心、壁垒最高的 “卡脖子” 装备,上海微电子就是张江高科这样的地方国资和国家集成电路大基金共同托举的。
2002年,国内光刻机从零起步,上海微电子在上海张江成立,彼时市场被ASML、尼康、佳能垄断。
去年的12月25日,上海微电子就卖出了一台光刻机,据中国政府采购网发布的公告显示,上海微电子中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机项目,设备数量为一台,成交金额1.1亿元。
再来看无锡,光刻机产业链主要集中在半导体设备与材料领域。
江苏影速半导体专注于光刻机研发,其193nm光刻机打破德日垄断,激光直写设备精度达500nm,是全球先进光刻技术的重要参与者。
东南大学微纳系统国际创新中心投运的电子束光刻机最小加工物理线宽小于8纳米,设备精密度国内领先 。
无锡和阿斯麦的缘分
阿斯麦曾经与无锡两次“牵手”。
2006年,阿斯麦在无锡布局建立光刻设备技术服务基地,如今,阿斯麦无锡基地是中国规模最大的光刻设备技术服务基地,成为华虹、SK海力士等一批重点集成电路企业光刻机的供应商。
2020年5月14日,无锡高新区与阿斯麦签署战略合作协议,在原有基础上对资源进行整合提升,扩建光刻设备技术服务(无锡)基地。
上海微电子布局无锡
今年7月26日,无锡清智光微科技有限公司宣布完成千万级种子轮投资。
清智光微2026年才在无锡成立,脱胎于张亚勤院士牵头搭建的清华大学无锡应用技术研究院智能产业创新中心。公司创始人王赛就出自上海微电子,负责研发半导体量检测设备。
光刻胶的无锡突破
说完光刻机,我们来说说光刻胶,其实,半导体企业对光刻胶的依赖比光刻机还要严重。
光刻机是固定资产,光刻胶就是高频耗材,一座晶圆厂每月光买光刻胶就要花掉近千万美元,没有光刻胶,光刻机就是一疙瘩废铁。
据我了解,无锡有很多企业已经在攻关光刻胶。
宜兴的雅克科技是国内光刻胶龙头,产品覆盖光刻胶、特种气体等,为光刻工艺提供关键材料支持。
2025集成电路无锡创新发展大会上,无锡正式启动先进制程半导体纳米级光刻胶中试线。
最近看到一个投资17亿的无锡光刻胶项目,建成后将形成年产半导体用光刻胶产品534吨的生产能力。建设周期为2026年至2030年,当前进入环评价阶段。
公众号主笔人
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拓扑姐
五道口职业技术学院硕士
长三角发展独立观察人
五道口长三角研究院PI
擅长经济、产业发展研究
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