阻挡层怎样把铜关在沟槽里面

铜要填进沟槽之前，先在槽壁上铺一层很薄的阻挡层。铜原子会自己往介质里走，也会往下面的硅里钻。没有这层，铜从槽壁渗出去，旁边两根线会漏到一起，下面的晶体管也会坏。这一步做的是把铜关住，不是把槽填满。

阻挡层常用氮化钽或氮化钛这一类又薄又密的膜。它先贴在介质上，后面的铜再贴在它上面。膜不连续，铜就从缺口走。膜太厚，槽里留给铜的截面变小，电阻变高。厚度要刚好把壁盖住，又不能把槽吃掉太多。

铺的时候槽里还是空的。侧壁、槽底和底角都要有膜，而且连成一圈。底角最容易偏薄。只量槽口的厚度，底角已经断了也不知道。截面要看到这一圈都连着，不要只看槽口那一条亮边。

槽又深又窄时，从上面来的材料更难落到槽底和底角。口上的膜已经够厚，底下还是薄的，甚至露出介质。这种上厚下薄，从顶上完全看不出来。放行要剖最深、最窄的那一组，不能只看开口大的监测槽。

底角如果断开，铜后来会从断口钻进介质。断口不一定很大，一条细缝就够。截面里能看见膜在角上缺了一截，介质和后来的铜直接碰上。只把口上的膜加厚，角上的缝还在。加厚要加在角上，不是加在口上。

针孔是膜上的一个小洞，比底角的断口更小，截面稍微偏一点就剖不着。铜从针孔渗出去，常常要等后面的加热做完，漏电才显出来。断开口子在角上，针孔可以出现在侧壁的任何一处。两种缺口不要当成同一种。

密集槽和孤立槽吃料不一样。密集处侧壁偏薄，孤立处口上偏厚。只量孤立的宽槽，产品里最密的那一组会漏。放行用最小节距。宽槽只用来看机台有没有漂，不能拿它的厚度给窄槽放行。

底角断开有一种容易看错的样子：膜沿着侧壁下来，到角上突然没了，槽底正中却还有一层。量槽底中心，会误判成合格。截面要卡在角上，不要卡在底的正中。角上缺一截，整条槽就不能算盖住。

铜填进去之后，这层膜就夹在铜和介质之间，厚度改不了了。连续和针孔都要在填铜之前看完。填完再剖，铜把缺口盖住，分不清是膜原来就断了，还是填的时候挤开的。当站的截面必须在空槽上做。

槽外的表面上也会铺上同一层膜。磨平的时候，表面上的这层必须磨断，否则相邻的槽会通过表面这层连在一起。槽里面的膜又要留下来。磨多了，槽口的膜被磨穿，铜在口上失去遮挡。磨少了，表面还连着。槽内留下和表面断开要一起看。

膜和介质粘不牢，后面加热或磨的时候会起皮，起皮的地方等于一个大缺口。膜和铜粘不牢，铜会从壁上缩开，留下一条空缝。截面里能分开：一个是膜离开了介质，一个是铜离开了膜。改错一边，另一边还在。

温度高，膜更密，针孔少，可膜也更容易在角上一边堆积、另一边变薄。温度低，覆盖更匀，膜更松，铜更容易从松的地方渗出去。温度按这一深宽比来定。沿用宽槽的温度，不是底角变薄，就是针孔变多。

针孔和完整的膜要能在同一片截面里分清。完整的一段是连续的亮线，针孔是亮线上的一个断点，介质从断点露出来。只看平均厚度，平均可以合格，针孔已经在了。抽查不能只报一个厚度数字。

片内要分开看三件事：口上的厚度，底角是否连着，侧壁有没有针孔。口上成环，先查中心和边缘落到槽里的量。针孔成扇，先查气流和温度。只加厚口上那一圈，底角和针孔都不会自己补上。

电阻偏高不一定是阻挡层太厚。铜没填实、槽变窄，电阻也会高。漏电升高才更像铜已经渗出去。电阻和漏电要一起看。只看到电阻高就把膜减薄，渗铜的缺口可能还在，漏电会在后面的加热里冒出来。

换靶或清腔之后，厚度和针孔都会跳。刚清完的前几片当陪片。壁上掉下来的渣落在槽口，会挡住底角，留下一段没有膜的壁。按片数清理。清完不跑陪片，第一片正式片的底角常常整片偏薄。陪片的厚度不要写成正式片的目标。

缺口旁边的气流常常偏一截，窄槽的底角会在那里先断开。只抽片子中心，缺口旁的一圈要到漏电才暴露。抽样把缺口旁边最窄的槽放进去。中心是连着的、缺口旁是断的，不能按中心放行。

监测槽如果比产品槽宽很多、浅很多，它的底角很好盖，不代表产品槽也盖得住。宽槽的气体和材料进得去，窄槽进不去。放行用和产品最小槽同一套图形。宽槽的平均厚度不能代替窄槽的底角。

同一片上横着和竖着的槽，开口方向不同，底角落料也不一样。两个方向分开抽。只抽一个方向，另一个方向的底角会整组偏薄。换版图时如果把槽转了向，旧的抽样方向就不能再用。

槽口有时会先长出一圈檐。檐越厚，口越窄，往下的材料更难进到底角，后面的铜也更容易在口上先封死。檐和底角要一起看。只把底角补厚，檐还在，口已经不够宽。把檐刻回去的时候不能把侧壁的膜一起打薄。

膜的厚薄够了，还不等于密。膜如果是疏松的柱状颗粒，铜会顺着颗粒之间的缝往外走，厚度数字仍然合格。截面里这种膜发虚，不是一条实的亮线。密不密要单独看，不能用厚度代替。

铺完到填铜之间不能久放。膜的表面一碰空气就长出一层氧化，铜贴不牢，后面会从壁上缩开。等待时间写在卡上。超时的片子先看表面，再决定进不进。已经氧化的膜，加厚也不会把那层氧化吃掉。

阻挡层的厚度和后面那层用来让铜附着的薄铜要分开量。把阻挡层量进薄铜里，会觉得铜的截面还够，其实槽已经被阻挡层吃窄了。两项用截面分开标。改错一层，另一层的厚度还在。

片子边缘散热快，边缘槽的膜常常比中心薄一截，底角也先断。厚度图要把边缘一圈放进去。只抽中心，边缘整圈会在漏电里才暴露。边缘和中心都进带子，这片才能往下走。

整条链路是：槽还是空的时候，侧壁、槽底、底角的膜连成一圈，厚度进带子，针孔不留，这些都在填铜之前看完；磨平之后表面的膜断开，槽内的膜还在。顶视图里槽口一层是亮的，截面里底角已经断开，就不要把这片送去填铜。口上那一圈再亮，也不能代替底角是连着的。针孔没找过，厚度合格也不能放行。

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