停止层怎样让刻蚀停在该停的那一层

有的刻蚀必须停在某一层上，再往下就是不该动的材料。靠时间去猜终点，快的地方已经打穿，慢的地方还没到底。停止层是预先铺上的一层，刻蚀对它很慢，碰到它就停。这一步管的是终点停得准。不是把窗口里该挖的都挖完就结束，也不是一轮一轮只去掉表面一层。

停止层要连续，厚度要够。太薄，快的位置一下就打穿，下面的材料出坑。太厚，后面要把这一层本身清开时又很难清干净，孔底留下皮。厚度按这一道刻蚀的快慢差来定，不能沿用上一层介质的厚度。

停得好的截面，孔或槽的底坐在一层连续的薄层上，这层没有洞，下面的材料还是平的，没有坑。底上的这一层四周厚度接近。只看挖了多深，看不出是停在停止层上，还是已经挖进了下面。

停止层若有针孔，刻蚀会从针孔往下钻，周围还停得很好。截面稍微偏一点就剖不着那个洞。电学或下一层的形貌是个别点出坑，不是整片一起深。先找针孔，不要先把整层加厚。加厚会让本来够厚的地方更难清。

片内刻蚀速率不匀时，边缘先碰到停止层，中心还差一截。等中心也碰到，边缘已经在停止层上多停了一段，停止层被慢慢啃薄。所以停止层的厚度要按最慢的位置还没到底、最快的位置已经在啃它来留余量。

该清开停止层的时候，是另一步。这一步只要求停住。若有人把停住和清开并成一个时间，停住的地方刚到，清开已经把下面打穿。两步的终点要分开写。停住看下面还有没有坑。清开看停止层本身还在不在。

密集图形和孤立图形到底的时间差很多。密集的孔后到底，孤立的大窗口先到底，停止层在大窗口里先被啃。只量密集孔的深度，大窗口的停止层可能已经穿了。放行同时看最小孔和最大的开口。

被打穿的地方，停止层缺了一块，下面的材料有一个坑，坑壁是新挖出来的。周围的停止层还可以是好的。所以不能用附近的厚度代表这个点。抽查要写有没有坑，不要只写平均厚度还在带子里。

打穿和没到底要分开。没到底是停止层上面还有一截该挖的材料，停止层还没露出来。打穿是停止层已经没了，下面出了坑。一个该加时间，一个该停。只报一个深度不合格，方向会判反。

停止层上面若有一层很像它的材料，刻蚀分不开，会在还没到停止层时就慢下来，看起来像已经停了，其实底上还隔着东西。截面要能分出停止层和它上面那层。分不出来，先别用深度数字放行。

下面的材料若本身也不平，停止层会跟着起伏。高的地方先被啃到，低的地方还盖着。按高处停，低处没开。按低处再挖，高处打穿。这种不平要回到上一层去查，不要在这一步用时间去抹平。

孔底没清掉的皮，是停止层还铺在底上的一层，下面没有坑，孔壁已经挖开。皮会挡住后面的连接。它和打穿相反。打穿是少了停止层、多了一个坑。皮是多了一层、没有坑。只写底不干净，后面不知道该继续清还是该停手。

片内分开看三件事：停止层露出来没有，有没有被打穿，该留下的皮和该清掉的皮有没有搞反。没露出来，多半是时间不够或图形太密。打穿，多半是时间过长或停止层太薄。搞反清和留，多半是两步合成了一步。

边缘先停、中心后停时，边缘的停止层会薄一圈。只剖中心，边缘的坑要到下一道才看见。厚度图要把边缘放进去。中心还停得很好、边缘已经出坑，不能按中心放行。

拐角和直边啃到停止层的程度不一样。拐角的刻蚀更强，停止层在角上先穿。直边的底还是完整的一层。放行截面要卡在角上。直边合格、角上有坑，这片不能往下送。

换气体或清腔之后，对停止层的慢速会跳。刚清完的前几片当陪片。同一时间有的已经打穿、有的还没到底。按片数清理。清完不跑陪片，第一片正式片最容易两头都出问题。陪片的终点不要写成正式片的目标。

停止层的沉积若中间断过，断口就是以后的穿点。沉积要连续，不能中途打开腔门再接。接上的那一圈，截面里能看见一条缝。刻蚀会沿着这条缝往下走。先看沉积有没有断，不要先加刻蚀时间。

同一片上不同深度的孔，不能共用一个停止层厚度。深孔后到底，浅孔先啃停止层。浅孔的停止层要更耐啃，或者两步分开做。用深孔的时间去等，浅孔的底一定先穿。

后面的薄膜会把打穿的坑封住，也把没清的皮封住。封住之后截面更难看清是坑还是皮。所以这一步的截面要在封住之前抽。封住以后只看电学，两种毛病会混成一个接触变差。

整条链路是：停止层连续且够厚，刻蚀在它上面停住，下面没有坑，该清开的时候皮不留，拐角和边缘也没有先穿。底上已经有坑，或者该通的地方还铺着一层皮，就不要送去后面。坑和皮要分开报。

监测用的大块开口停得很好，不代表最小的孔也到底了。大块只用来看机台有没有整片漂。放行看和产品一样小的孔，以及最大的开口有没有把停止层啃穿。两处都要写，不能用大块的一个深度代替。

停止层若在沉积时中心厚、边缘薄，边缘会先被打穿，中心还很厚。厚度图成环时，先查沉积的气流，不要先把刻蚀时间缩短。时间一短，中心的孔会整组没到底，边缘的坑却还在。

孔底的皮若只有半边，多半是刻蚀从一边先到底，另一边还盖着。这种半边皮和整层皮不是同一个做法能清掉的。先看离子是不是斜了。斜着打，把时间加长会让先到底的那半边先穿。

下一道若要在停止层上再长东西，皮还在的地方长不实，打穿的坑会被长进去的材料填上，变成一个埋住的空洞。所以皮和坑都要在长东西之前处理完。长完再看表面，两种毛病都已经被盖住。

试验片要把最小孔的到底、最大开口的坑、边缘的厚度和拐角放在同一张卡上。少一项，放行就会从那一项漏。四项都进带子，这一道才算停对了。

停止层下面若已经被打出一个小坑，再把这层补厚也盖不住那个坑。补上去的材料会悬在坑上，或者掉进坑里。已经有坑的片子不能靠加厚返工。坑的位置要单独标出，不能和没到底的孔混成同一张处理单。

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