曝光后烘烤怎样让胶里的变化走完

光落到胶上，只是开了一个头。胶里的变化要在随后的烘烤里走完，边界才立得住。烘得不够，该走完的变化停在半路，底上拖着一只脚。烘得过头，变化往不该去的地方扩散，边被烤圆，线宽跟着漂。这一步是曝光之后、开窗口之前的烘。不是把已经曝光的胶溶出窗口，也不是刻蚀之后把剩下的胶清掉。

温度和时间一起决定走完没有。温度低，时间加得很长也走不匀，胶的底部后到达。温度高，表面先过，顶上的边开始圆。窗口要按这一支胶来定，不能沿用上一支胶的温度。换胶不换温度，脚和圆边会成对出现。

烘好的胶边应当是立直的。顶和底的宽度接近，底上没有拖出去的脚，顶上没有被烤圆的肩。立直说明变化正好走完，没有往旁边多走。只看线还在不在，看不出边是直的还是拖着脚。

烘烤要在曝光之后尽快开始。等久了，已经开始的变化会自己慢慢走，片与片、片内前后曝光的位置走得不一样。等待时间写在卡上。超时的片子先看边是不是整片发虚。发虚多半是等久了，不是温度突然高了。

热板的温度要匀。边缘散热快，边缘常常烘不够，脚先出在边缘。中心若热板偏高，中心的边先圆。只抽中心的线宽，边缘的脚要到开窗口之后才看见。温度图要把边缘放进去。

胶厚了，底部离热更远，更需要时间才能走完。同一温度，厚胶出脚、薄胶已经圆边。胶厚必须先在带子里。胶厚分成两圈时，烘烤时间救不了两边。先把胶厚做匀，再锁烘烤。

密集线和孤立线散热不一样。密集处胶更多，升温慢，容易留脚。孤立的细线热得快，容易被烤圆。只量孤立的监测线，产品里最密的那一组会整组拖脚。放行量最小间距的线，再看孤立线有没有变圆。

脚在截面上是胶的底部比顶部宽出一截，贴着底面拖出去。上面的边可以还是直的。开窗口之后，这只脚会留下不该留的胶，后面的刻蚀就在这里停住或变窄。所以脚要在开窗口之前从截面看，不要等刻蚀之后才追。

脚和底切要分开。脚是底部多出去。底切是底部被掏空，上面宽、下面窄。脚多半是烘不够。底切多半是烘过了，变化在底部走得太宽，开窗口时底部先没。两种都会让线宽不对，方向相反。

烘过的边，顶上被烤圆，肩往里收，线的顶部比设计窄。圆边再往下，整条线会变细。这和剂量不够变细不完全一样。剂量不够是整条一起细，边还可以是直的。烘过是顶上先圆，底部还接近原来的宽度。

热板和胶之间若有颗粒把片子垫高，垫高的一点接触不到热，周围先烘完，这一点留脚。脚的地图是散点，不是一圈。一圈更像温度的边缘差。散点先查接触，不要先把整片温度调高。温度一高，没被垫高的地方会先圆。

被烘圆的顶要和立直的边放在一起看。圆顶的肩是弧的，立直的边是直上直下。只报一个线宽，看不出该降温还是该加时间。顶圆了，先看是不是烘过。底拖了脚，先看是不是没走完。

片内分开看三件事：底上有没有脚，顶上圆没有，等待是不是太久。有脚，多半是温度低、时间短或胶太厚。顶圆，多半是温度高或时间长。等太久，整片发虚，而且先曝光的位置更虚。只加时间，已经圆的边会更圆。

同一热板上不同槽位，接触和气流不同。某个槽位连续出脚，先查那个位置的温度和片子贴没贴实，不要把整板的时间一起加长。时间一加，本来正常的槽位会开始圆边。

烘完到开窗口之间再等，已经走完的变化还会再走一点，线宽慢慢变。这一段等待也要写在卡上。超时的片子先重看边，不要直接按原来的窗口时间往下做。再等下去，圆边和线宽还会变。

换胶或换热板之后，脚和圆边的窗口都会变。先走试验片，把最小线的边、边缘和孤立线对齐，再锁给整批。只看中心的平均线宽就放行，边缘的脚和孤立线的圆边可能已经出了带子。

光的剂量和烘烤会叠在一起。剂量少加上烘不够，脚更重。剂量多加上烘过了，线更圆更细。所以改剂量之前先看边的形状。边是脚，先把烘走完。边是圆的，先把烘收回来。不要两个旋钮一起拧。

横向和纵向的线，烘的时候散热不一样，脚出现的方向会不同。两个方向分开看截面。只看一个方向，另一个方向的脚会整组漏掉。换版图时若把线转了向，旧的方向就不能再用。

热板表面有膜或划痕时，接触变差，脚会沿着划痕排成一条。这条不是图形本身的问题。先养护热板，不要先改胶的配方。配方改了，划痕上的脚还在。

整条链路是：曝光后按卡上的时间进烘，温度让变化走完，边是立直的，底上没有脚，顶上没有圆肩，边缘和密集线也一样。截面里底已经拖出一只脚，或者顶上已经烤圆，就不要送去开窗口。脚和圆边要分开报。

陪片如果只看胶还在不在，烘烤的好坏完全看不出来。胶还在只说明没被拿掉。边直不直，要有截面。没有截面就放行，脚会整批进到后面的刻蚀里。

热板升温若太猛，胶的表面先到温度，底部还凉，顶上开始圆的时候底上还有脚。同一条边上可以又圆又拖脚。这不是剂量的问题。先把升温放慢，让整层胶一起到温度，不要先改曝光。

片子若在热板上滑动或没吸住，接触时有时无，线宽会沿一个方向逐渐变。这种渐变和图形疏密造成的差别不一样。疏密差是跟着线条密的地方走。没吸住是跟着片子的位置走。先看吸片，不要先改烘烤时间。

开窗口之前抽的截面，要包含最密的线、孤立的线，以及边缘一圈。三处的边都立直，这一烘才算走完。少一处，脚或圆边就会从那一处进到后面。三处不能用中心的一条线代替。

胶的批次变了，同样的温度走完的时间会差一截。新批次先做试验片，把脚刚刚消失、圆边还没出现的窗口重找一遍。沿用上一批的时间，新批次不是留脚就是圆边。

热若只从背面传来，胶的底部先走完，顶部后到。底部开始变圆的时候，顶上还可以留着没走完的边。这和热从正面来、脚拖在底上不是同一个样子。卡上要写热是从哪一面来的，不能沿用另一种热板的时间。这一步只看胶边有没有立直。

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