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国产光刻机亮相:国产化率超90%,ASML这次要慌了?

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目前所有的大规模芯片制造,都离不开光刻机。

但大家都清楚,目前国产光刻机与国际顶尖水平相比,还是有较远距离的。所以大家都期待国产光刻机雄起,打破国外的垄断,最好是能够自研出浸润式DUV光刻机、EUV光刻机来,那么中国芯片产业腾飞起来就指日可待了。



而近日,在11月5日开幕的第九届中国国际进口博览会上,国产光刻机厂商上海微电子,正式展示了新的光刻机模型。

当然,很多人质疑这个是模型,但事实上,因为光刻机体积太大了,不太可能真的将真机搬进进博会的,这个模型实际上就是展示技术,目前上海微电子已经有成熟的产品对外销售了,并不是PPT,这一点大家要注意。

同时官方还表示称,该光刻机是基于全栈自主可控技术底座,元件的国产化率突破90%,像物镜系统,光源系统都是自主可控的,比如搭载的是国产自主大NA物镜。

目前该光刻机已经累计支持产线流片超千万片,设备有效运行率超92%。



那么问题就来了,展示的国产光刻机,到底是什么水平,与ASML相比,落后多少年?这样的光刻机推出,ASML会不会慌?

关于光刻机的更具体的介绍,官方也有说明的,该光刻平台适配I-line、KrF两类主流技术路线,型号为光刻机SSC800、SSB800。

按照资料显示,I-line光刻机设备,采用的是365nm的曝光波长,一般用于350nm左右的芯片制造。而KrF光刻机,一般是采用248nm波长,用于130nm左右的芯片制造。



如果要制造65nm及以下的芯片,则需要用到ArF光刻机,其光源会是193nm的波长。

再往上会是ArFi光刻机,也就是大家熟悉的浸润式,光源还是193nm,但介质是一层水,波长通过后等效134nm,可以用于制造7nm芯片。目前浸润式EUV目前全球仅ASML、尼康能够制造,且尼康的份额相当低,主要还是ASML的天下。

再往上就是EUV光刻机了,光源波长是13.5nm,用于7nm以下芯片制造,但全球目前也仅有ASML一家能够制造出来。



所以,如果从技术上来看,配I-line、KrF的光刻机确实落后很远的,20年前ASML就已经推出了。

但我们推出它的意义,并不是说要去与ASML去PK,我们的目的,其实是在成熟工艺上进行大规模的国产替代,减少对外的进口。

全球的芯片制造,并不只是先进芯片,还会有大量的成熟芯片,以前我们在成熟芯片这一块,也是大量进口光刻机的,如今有了上海微电子的光刻机,我们就可以减少进口了,也不怕被卡了。



我们要做的,是先在成熟芯片上,实现自主可控,再慢慢的基于成熟技术,再往先进的技术上去走,路要一步步来,如果没有成熟技术,直接就造出EUV,你觉得可能么?

所以虽然是落后ASML二十的技术,对于我们同样重要,只有先解决了从0到1的问题,才能再去解决从1到10,到100的问题。

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