河南
光学超稳腔具有超窄线宽、超高细度、稳定的共振频率、优良的光谱分辨率等特点，广泛应用在超窄线宽激光、量子精密测量、量子信息处理、量子计算、精密光谱学、原子重力仪、激光传感与通信、高精度定位导航授时（PNT）、引力波探测等领域。
光学超稳腔又称超稳光学腔、超稳腔，是一种新型光学参考系统，功能是为超稳激光器提供高稳定性的频率参考。根据腔体结构不同，光学超稳腔分为圆柱形腔、凹形腔、球形腔、立方体腔、多孔腔等；根据通道数量不同，光学超稳腔分为单通道超稳腔和多通道超稳腔。
光学超稳腔是超稳激光器的核心部件之一，通过腔长固定、共振增强等方式，将激光频率锁定在极其稳定的参考频率上，来实现赫兹级及以上频率稳定性和线宽压缩。超稳激光器的频率稳定度可达10-16量级甚至更高，是精密科学领域的核心工具，光学超稳腔性能直接决定超稳激光器的频率稳定度。
光学超稳腔技术壁垒高，关键技术包括腔体结构设计、腔体和腔镜材料选择、抛光和镀膜工艺、震动隔离、温度和真空控制等方面。在腔体和腔镜材料方面，通常采用微晶玻璃、单晶硅、超低膨胀系数（ULE）材料等，来保证共振频率的稳定性。
根据新思界产业研究中心发布的《2026-2030年全球及中国光学超稳腔（超稳腔）行业研究及十五五规划分析报告》显示，光学超稳腔应用场景广，市场需求不断释放。2025年、2026年，清华大学在清华大学采购信息发布平台发布的设备采购意向，均涉及到光学超稳腔项目，其中2026年光学超稳腔采购预算金额为90万元。
光学超稳腔技术壁垒高，在国际市场上，光学超稳腔工程化生产长期由美国Stable Laser Systems（SLS）、澳大利亚Liquid Instruments公司、美国Advanced Thin Films（ATF）、美国MS等国外公司垄断。
近年来，我国光学超稳腔国产化工作也取得了重要突破，相关研究单位及企业包括华中科技大学、北京大学长三角光电科学研究院、中国科学院精密测量科学与技术创新研究院（APM）、天之衡量子科技、天津集智航宇科技股份有限公司等。
新思界行业分析人士表示，目前天之衡量子科技已实现以超稳光学腔为核心模块的超稳腔系统定制和市场化供应，包括超稳腔核心模块、超高真空腔、超稳腔耦合光路等；天津集智航宇科技已开发出超稳腔、耦合光路、全数字激光自动锁频控制器等多种高性能超稳系统，核心Finesse精细度指标达到了100万以上。
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