湖北
获悉，国内半导体设备龙头企业中微半导体设备（上海）股份有限公司华中总部正式落户光谷，预计明年初投入运营。
中微半导体研发场景
中微半导体设备（武汉）有限公司已于7月28日完成注册，注册资本5000万元，将入驻光谷存算双创园。项目聚焦核心半导体设备研发，计划建设华中总部及研发中心，开展薄膜、刻蚀、外延等核心设备研发。预计落户员工约300人，其中研发人员达100人。
中微半导体成立于2004年，是国内半导体设备龙头企业。公司已开发出54种高端半导体设备，包括26种等离子体刻蚀机、24种薄膜沉积及量检测设备，刻蚀与薄膜设备加工精度已达原子级水平。刻蚀设备已覆盖65纳米到3纳米工艺节点。截至2026年6月底，累计已有超过8800个反应台在国内外220余条生产线实现量产。2025年实现营收约123.8亿元，同比增长约36.62%。
光谷是全国四大集成电路产业基地之一，集聚产业链企业超300家，2025年集成电路产业规模突破千亿元。中微华中总部落户将进一步补齐光谷半导体设备环节短板。
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