中国芯片设备，静待一个大消息

很多曾经被认为造不出来的都造出来了，更多曾经被认为造不出来的，也必然造出来。

文 | 华商韬略出品人 毕亚军

8月初，路透社抛出一条让全球半导体圈炸锅的消息：三星电子和SK海力士，正在评估中国中微公司的芯片制造设备，考虑将它装进自己在中国的晶圆厂里，甚至言之凿凿，说两家韩国存储芯片巨头大约两年前就已经开始秘密测试中微的刻蚀设备。

虽然三星随后紧急否认“从未考虑”，SK海力士也一言不发地拒绝置评——但没人能否认一个事实：已经打入台积电体系的中微，其实早已拿到了全球市场的通行证。

中国向全球顶级芯片厂提供诸如刻蚀机这样的高精尖半导体设备，这在过去是根本不可想象的事情，但现在，它已经是事实。

【01 刻蚀机】

“看来刻蚀机比原子弹还复杂，我们能不能自己把它造出来？”

2004年3月，上海的国际半导体设备与材料展览暨研讨会(SEMICON CHINA 2004)上，已经请到张汝京创造了中芯国际奇迹的江上舟，遇到了又一位世界级的半导体大人物——时任应用材料公司资深研发副总裁，也在全球刻蚀机领域响当当的尹志尧。

而且，他们还有一层特殊的关系，都是名校北京四中的校友。

当时江上舟已是上海市政府副秘书长，毕业于清华大学无线电系的他，正千方百计地推动上海芯片产业的发展，并把目光聚焦到比晶圆厂更底层的半导体设备之上。因而，遇到尹志尧的他，就像是久旱逢甘霖，一见上，就开门见山，直抒胸臆。

“看来刻蚀机比原子弹还复杂，我们能不能自己把它造出来？”

尹志尧在硅谷摸爬滚打了二十年，参与领导过国际几代等离子体刻蚀机的研发，手握60多项专利，是公认“硅谷最成功的华人之一”，不但年薪优渥，每年还有堪称巨大的研发经费可以调用。而中国大陆的半导体产业相比美国几乎可以用荒芜来形容，以当时条件看，放弃美国的优越条件回国创业，而且是在如此高风险与难度领域创业，对尹志尧来说，怎么都不划算，何况，尹志尧当时已经60，是可以享受生活的人了。

但三件事让尹志尧下定了决心，一是其家族几代都是留学然后回国报效的，他本身就希望延续这种精神回国创业，二是江上舟的一句话深深打动了他："我是个癌症病人，只剩下半条命，哪怕豁出命去，也要为国家造出刻蚀机。我们一起干吧！"最后就是已经率先回来帮助中国芯片发展的张汝京告诉他，中芯国际可以做他的第一个客户。

2004年5月，尹志尧回到上海创办了中微半导体——没从美国带回一张图纸，一份技术资料，仅靠装在自己和同事们脑袋里的知识，上海市政府投入的5000万元人民币启动资金，团队自筹的150万美元就踏上了国产刻蚀机的征程。

即便在美国，从零开始办一家刻蚀机设备企业都是超级挑战，何况是在中国。但客观上的困难，有了主观上的更多努力，情况就变得好很多。初期的资本很快花光了，更多来自主观的支持帮助渡过了难关，在江上舟牵线下，尹志尧跟时任国家开发银行行长陈元沟通了情况。听说他们要造刻蚀机，陈元兴奋地说：“这东西，我做梦都想做，一定要支持。”然后中微得到了5000万美元无息贷款，研发才算真正跑了起来。

2007年6月，首台国产高端刻蚀设备在中微研制成功——但庆祝还没开始，麻烦就来了：前东家应用材料一纸诉状，把尹志尧和几名核心员工告上美国法庭，指控他们窃取商业机密。尹志尧对自己有信心，请来顶级律师团队，花了两年半时间、2500万美元律师费，翻遍600万份内部文件，最终自证清白。

2010年双方和解，共享部分专利。

而真正让中微脱颖而出的，是尹志尧团队已经融入血液的技术积累与行业认真，以及一套刻进骨子里的方法论，或者叫制胜策略——超前两代布局。

2004年中微创立时，全球最先进的芯片生产线还停留在90纳米，尹志尧却带着团队直接扑向40纳米刻蚀机的研发。“集成电路产业技术迭代太快，只有超前两代研发，才能在设备真正被市场需要的时候掌握主动权。”

这个判断后来被反复验证：2015年，中微的等离子体刻蚀机做到了和美国设备同等质量、同等产量，美国商务部随即解除了对中国这类设备多年的出口禁运；

2018年底，中微自主研发的5纳米刻蚀机通过台积电验证，用于全球首条5纳米制程生产线，成为大陆唯一一家打入台积电7纳米刻蚀设备供应链的本土厂商。

这背后，是一支来自十几个国家和地区、几千名员工、专业覆盖30多个学科的国际化团队联合炼就的硬本领。

具体有多硬，尹志尧曾打过一个比方：“在米粒上刻字，一般能刻200个字已是极限，我们的刻蚀机相当于能在米粒上刻10亿个字。”

而当中微打入全球顶级供应链之时，整个中国半导体设备产业也都吹响了冲锋号。

【02 拼图】

2024年8月，科创板开市五周年之际，一场特殊的对谈把四位国产半导体设备企业家拉到了同一张桌子上：中微公司董事长尹志尧、拓荆科技董事长吕光泉、华海清科总经理张国铭、中科飞测董事长陈鲁。大家对谈的题目是，半导体设备突围关键局，核心就一个：探讨了国产半导体设备的自主可控之路。

四人中，吕光泉、陈鲁与尹志尧一样，都是带着资深经验从海外归来。

在加州圣地亚哥拿到半导体博士的吕光泉，在美国诺发、德国爱思强等公司干了二十年工艺技术研发，2014年加入拓荆前身，选择了当时国内几乎一片空白的PECVD薄膜沉积设备作为主攻方向，用“单点扎深”的打法，做成了国内唯一实现集成电路PECVD、SACVD产业化应用的公司。

与尹志尧是中科大校友的陈鲁，15岁考入中科大少年班，后去美国布朗大学拿了光学物理博士，然后进入美国KLA-Tencor和Rudolph Technologies等知名检测设备企业任资深科学家，2010年回国进入中科院微电子所当研究员，2014年底正式创立中科飞测，从租用的住宅办公出发，做成了科创板上市的中国晶圆检测设备龙头。

至今还是清华大学机械工程系教授的路新春，则是本土突围代表。2013年，他带领清华大学团队将化学机械抛光技术产业化，孵化出华海清科股份有限公司，第二年就打破国际巨头垄断，做出首台12英寸CMP设备。2022年，华海清科在科创板上市。如今，公司在14纳米以上制程的CMP设备上已与国际巨头没有技术代差，产品进入中芯国际、长江存储、长鑫存储、英特尔等国内外一线产线。

四位企业家所执掌的四家企业，成立时间最长的也不过20来年，但如今都已是各自领域拥有着千亿级市值的行业新势力。有人带着资深经验从海外归来，有人从本土长出来，大家都为了一个共同的目标，让中国半导体设备站起来。这位四企业家的历程，也是中国半导体设备拓荒者的缩影，他们之外，还有更多人也都书写着各自的篇章。

比如，同样高难度的芯片清洗设备赛道上，就有一位和尹志尧命运轨迹类似的人——盛美上海创始人王晖。王晖1998年在硅谷创办ACM Research，研发出的无应力铜抛光技术，但因为技术“太超前”而难以落地，一度面临被大公司收购的诱惑。关键时刻，拉尹志尧回国的江上舟找到王晖，让他不要卖掉公司，而且把公司搬到上海。

王晖接受了江上舟的建议，于2005年成立了上海盛美。如今，公司已是拥有世界先进技术与国际竞争力的高端半导体设备企业，其产品10多年前就已进入海力士等世界性晶圆大厂，由其全球首创的 SAPS/TEBO 兆声波清洗技术和 Tahoe 单片槽式组合清洗技术，还因解决了世界性的清洗难题，而引领着全球产业的方向。

生产设备种类比前述任何企业都多，历史也比这些企业悠久得多的北方华创，则是本土长出来的另一个优秀代表。

2017年重组而成的北方华创，血脉能追溯到1965年北京酒仙桥的国营700厂，其背后既有北京国资、北大、清华、中科院等优势资源，也有国家大基金的支持。

如此背景，也让它走出一条不同的路——以并购整合推动扩张的平台型公司：2018年收购美国清洗设备公司Akrion的资产和技术，2020年收购射频电源公司北广科技，逐步把刻蚀、PVD薄膜、LPCVD、清洗机、氧化炉都纳入自己的产品矩阵。

如今，北方华创已是国内产品线覆盖最全的半导体设备平台型公司，也是2025年营收达393.53亿元，中国半导体设备领域实力最强的行业龙头。

还有，芯源微在涂胶显影设备上填补了国内空白、微导纳米则在ALD原子层沉积技术上做到了国内领先……还有，难度最高，但也公开信息最少的光刻机龙头上海微电子……到2020年前后，中国半导体设备的版图，已被这样一群从不同细分领域切入、却共享同一套“卡脖子领域死磕到底”打法的企业，一块块拼起来了。

【03 加速】

2024年的那场对话中，谈到国内半导体设备发展的优劣之时，四位企业家都不约而同地谈到了一点，设备厂与本土晶圆厂的相互促进和支持。

大家都强调，中国设备企业与世界顶级设备企业的差距依然不小，但也正形成独特的优势，比如技术差异化创新，与本土晶圆厂一起攻坚克难，量身订制等等。

这其中，最重要的支持者之一，便是中芯国际。

2017年，中芯国际从台积电挖来梁孟松时，公司28纳米良率还徘徊在60%以下，先进制程迟迟突破不了，还刚打完一场专利官司。梁孟松只用了298天，就把14纳米FinFET工艺的良率拉到90%以上；随后他又带队用现有的DUV光刻机通过多重曝光工艺，“抠”出了性能接近7纳米的N+1工艺，绕开了美国对EUV光刻机的出口禁令。

这种不相信不可能的精神，同样体现在中芯国际对国产设备的态度上——它长期扮演国产设备“第一个吃螃蟹”的角色：拓荆科技、芯源微、北方华创、中微公司、上海新阳、沪硅产业等十几家国产设备和材料企业，核心产品都是率先在中芯国际的产线上通过验证，才逐步打开市场，进入技术和商业的循环。

半导体设备行业的规则向来残酷——新产品想真正替代国际巨头，不仅要拼性能和性价比，更要熬过晶圆厂动辄以年计的验证周期，任何一步验证失败都可能让企业前功尽弃。而中芯国际则几乎是靠一己之力，用自己的产线，孵化出了国产半导体设备的第一批种子选手；这种“以用促研”的模式，如今仍在延续——

去年9月，中芯国际就被曝出正在测试上海初创企业宇量昇研发的国产DUV光刻机，被视为中国攻克光刻这块最后堡垒的关键一步。

而本土设备与本土晶圆厂真正的情同手足与砥砺前行，则要“感谢”美国的制裁大棒——既逼迫本土晶圆厂真正走上依赖本土设备的道路，给本土设备企业以最大的支持，也让本土设备企业史无前例地被战略置顶，集中到国家与社会更多力量来发展。

2023年SEMICON China的舞台上，长江存储董事长陈南翔说了句让行业沉默的话：“设备是依法合规买回来的，如果公平的话，设备坏了，因为设备厂商不卖零件而瘫在车间，设备厂商应当用钱回购。”他讲话的背景则是，美国的出口管制，让中国晶圆厂连装机多年的光刻机零件都买不到了，坏了就只能像废铁一样摆在车间里。

2019年5月，华为被列入实体清单；

2020年12月，中芯国际被限制购买10纳米及以下先进制程设备；

2022年10月，美国商务部把管制范围扩大到几乎整条半导体设备产业链，涵盖14纳米以下逻辑芯片、18纳米以下DRAM、128层以上NAND所需设备；

2023年10月，管制名单进一步扩容；

2024年12月，24家中国半导体设备和工具公司被追加列入实体清单，管制范围延伸到刻蚀、沉积、光刻、离子注入、量测、清洗等几乎全品类设备。

每一次升级，都在切断中国晶圆厂获取海外先进设备和零部件维保的渠道。

但这些管制非但没有掐断中国半导体产业，反而让国产晶圆厂和设备商彻底拧成一股绳，也让国家将资本和资源不断向整个半导体产业链倾注，把中国半导体产业链最艰难的8年变成了最辉煌的8年，不但让中芯国际变得更强更大，还走出了长鑫科技、长江存储，也走了一整个产业链的势不可挡。

2014年至今，国家大基金已完成三期接续，累计认缴资金超6800亿元，其中2024年成立的三期注册资本高达3440亿元，创下全球半导体专项基金规模纪录，近一半资金投向设备和材料。

其效果也是实打实的。中国电子专用设备工业协会的统计显示，到2025年，国产半导体设备整体国产化率已从不足5%，一路提升到约20%，而在刻蚀、薄膜、清洗、抛光等环节，中国设备已经具备了能和国际巨头正面掰手腕的技术能力与企业实力。

从5%到20%，可谓成就巨大；20%，则说明空白和差距依然巨大，比如在先进光刻机领域，依然还在艰难的攻坚中。2026年3月，北方华创董事长赵晋荣等半导体业内人士，还共同发表论文，呼吁举全国之力打造中国版光刻机巨头。

这场已经持续了二十年的突围，还远远没有到终点，但方向已经不可逆转——很多曾经被认为造不出来的都造出来了，更多曾经被认为造不出来的，也必然造出来。

而一旦造出来，就注定不只是为中国，也是为世界而造。

国家统计局数据显示，今年前7个月，我国集成电路行业利润增长18.5倍。

长江存储和长鑫科技。2023年，两家公司合计亏损355亿元，但2026年一季度它们就合计盈利581亿元。寒武纪2023年亏损8.48亿元，2026年上半年盈利23.11亿元；中芯国际2023年利润48.23亿，今年上半年44.67亿元。

芯片企业的业绩爆炸之下，中微公司、北方华创等设备厂商也都迎来史上最好业绩。

8月28日，国家发展改革委政策研究室副主任、委新闻发言人李超在国家发展改革委8月发布会上表示，中国拥有超大规模市场、完备产业体系和丰富人才资源，集成电路产业发展基础坚实、空间广阔、动能充沛，正在加快成长为具备全球竞争力的新兴支柱产业。

根据李超的介绍，今年1—7月，国内主要晶圆代工企业产能利用率均保持在90%以上，集成电路出口额达到1.49万亿元，同比增长91.6%。

李超表示，下一步，将继续聚焦“十五五”规划纲要部署要求，发挥新型举国体制优势，全链条推动集成电路关键核心技术攻关取得决定性突破，促进集成电路产业高质量发展。

相信用不了多久，中国芯片设备更大的好消息，就会传来，甚至像长鑫科技、长江存储一样，捷报频传。

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