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90%国产化率,国产EUV光源样机突然亮相,ASML慌不慌?

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美国为了打压咱们的芯片产业,一直卡着先进设备不卖,尤其是光刻机。

目前ASML能卖给我们的DUV,表面上看好像都能买,但实际上先进的浸润式DUV根本不卖,只给一些相对落后的低端货,落后欧美十多年。

至于EUV光刻机,那更是想都别想,美国和ASML严防死守,因为他们心里清楚,一旦我们有了EUV,马上就能进入7nm以下,中国芯片产业崛起就是必然的事。



所以,只有研发自己的EUV光刻机,否则就会一直被人卡脖子。

虽然也有各种技术想绕开EUV,或者把DUV压榨到极限,但说实话,如果有EUV,这些技术都可以先放一放。

用EUV做物理微缩,是当前的大势所趋,只有没有EUV的时候,才去研究那些折叠技术,是不得已而为之。



EUV光刻机有三大件:EUV光源、物镜系统、工作台。

这三样门槛都极高,但其中EUV光源应该是难度最大的一块。ASML也是集合了多家供应链,才把光源系统整出来。

他们的做法是,用高功率30KW的二氧化碳激光轰击液态锡滴,把锡珠蒸发产生等离子体,辐射出EUV光,再捕获13.5nm波长的光源。这套系统非常复杂,外界甚至认为,除了ASML,其他企业连EUV光源都搞不出来。



但近日,在第二十六届中国国际工业博览会上,一家中国企业展出了一台极紫外光源系统样机,这家公司叫朗道燧岩(上海)科技有限公司。

这是目前国产进度最靠前的EUV光源样机,而且国产化率高达90%,几乎不依赖国外的技术和元件。官方介绍显示,型号为FlintNano LPP-OXXO,驱动激光功率1000W,EUV能量大于15W,转换效率大于2%。



当然,跟ASML的EUV光源比,还有一定差距。但ASML研发了多久?整合了全球最优秀的供应链。而国产厂商是靠自己的实力研发出来的,从这一点上,就足够让人兴奋。

当然,仅有EUV光源还不够,一台完整的EUV光刻机还需要物镜系统、工作台。但路要一步一步走,搞定了光源,就可以去搞定物镜系统,搞定工作台,一样一样来,这是迟早的事。

相信现在不管是ASML还是美国,都有点慌了。毕竟一旦我们研发出了EUV光刻机,ASML的光刻机帝国就会崩盘,美国的禁令也将成为废纸。不怕才是怪事。

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