美商务部长质疑ASML没有遵守规矩，向中国出口先进的EUV光刻机

前沿导读

据《观察者网》转载彭博社新闻指出，美国商务部长卢特尼克在投资会议上质疑ASML违反美国的出口管制，向中国企业出口了EUV光刻机。该质疑遭到了ASML公司的否认，并且公司高管解释称EUV光刻机的体积庞大、产量有限，还需要ASML员工进行维护，ASML从未向中国出口过任何与EUV技术相关的组件、模块以及设备。

参考资料：
https://mp.weixin.qq.com/s/h3QW6iVQlmpcLoVB8veDPw

出口管制

据查询到的权威报道显示，2018年中芯国际向荷兰ASML采购了一台价值1.5亿美元的EUV光刻机，但是该设备的出口遭到了美国部门的强势阻挠。

美方向荷兰分享了一份报告，报告展示了中国获得该设备之后可能出现的情况。此前荷兰政府已经对ASML发放了向中国客户出口EUV的许可，但是美国政府与荷兰进行了多次会谈，最终还是叫停了这台EUV光刻机的对华出口。

按照出口管制条例，外国公司向中国出口技术产品时，只要美国制造的零件占比达到25%价值，就必须向美国申请出口许可。但经过美国部门对EUV光刻机进行审计后发现，该设备的美国零件价值占比不足25%，不用向美国申请出口许可。

随后美国又以所谓的“国家安全问题”对荷兰施压，将先进的EUV光刻机设备列入《瓦森纳协议》中，依靠《瓦森纳协议》的规定叫停EUV光刻机的对华出口。

中国公司的订单从2018年开始，就占据了ASML总销售额的20%左右，超过了美国公司的16%，成为ASML全球业务的新客户。

并且在后续的业务往来中，中国大陆市场在部分季度为ASML贡献了超过40%的营收占比，成为了ASML全球唯一的大客户。

我国驻荷兰大使徐宏先生此前在接受《金融日报》专访时表示，中国是全球最大的半导体产品市场，占全球半导体产品消费总量的50%以上。而ASML公司虽然技术先进，但是其产品技术离不开市场的支持。丢掉中国市场，不仅利益受损，还会缺失让产品技术提升及发展的重要平台，ASML自己必定不愿意这样。

虽然EUV被持续封锁，但是DUV光刻机还可以继续出口给中国大陆企业。不过自从中国企业在国产7nm芯片及DUV光刻机领域推出自主产品之后，美国对于DUV的禁令也开始收紧。正在推动的match法案，则是针对华虹、中芯国际、长鑫存储、长江存储、华为这5家中国企业实施所有浸润式DUV光刻机的出口限制，哪怕是采购设备制造成熟芯片也不行。

在封锁设备的同时，还一并要求美国企业和盟友国企业停止为中国现有进口设备提供售后方面的支持。这种限制政策可以说是“前无古人”的严格，甚至可以说是近乎“疯狂”的举动。

毫无证据

EUV设备的零部件高达几十万个，其供应链覆盖全球5100家供应商。

并且光刻机属于模块化工业设备，需要各企业先将激光发射器、曝光系统、工作台等子系统制造完成，然后把所有子系统交付给ASML组装成一个完整的光刻机设备。在整个供应链体系当中，只有ASML拥有让所有子系统结合在一起并持续运行的技术能力。

在ASML将设备交付给客户的过程中，也是将光刻机的各个子系统进行拆分后运输，并不是直接运输组装完成之后的光刻机整体。

光刻机的占地面积很大，组装完成之后相当于一辆双层巴士的大小，而且对于放置环境有着很高标准，空气洁净度、电力资源、地基的抗震能力都需要考虑到。只要光刻机正式进入工作状态制造芯片，那么就不能停下来。只要停下来，每耽搁一分钟，将会出现数千欧元的经济损失。

美国商务部长卢特尼克公开质疑ASML将EUV运送到了中国大陆地区，但是并没有拿出真实的证据来佐证这个说法，这足可以说明其本质上还是对中国科技发展存在“危机感”，并且对ASML这个盟友国的企业不信任。

纵观这几年的半导体设备市场，中国自主技术的发展最为迅速。

而美国、日本、荷兰等国家的设备企业受美国出口管制的影响，与中国大陆地区的合作关系非常紧张。本身中国大陆市场就是全球范围内较大的半导体消费市场，无法与中国市场建立合作，影响的是海外企业的经济利益。

中国半导体产业近些年的好消息频发，不但掌握了去美化的国产7nm芯片制造技术，而且还在DUV光刻机领域实现了技术进步。这种自主技术的高频度出现，不得不让美国部门的人对盟友国企业产生怀疑。