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事关EUV光刻机出口:美国疑神疑鬼,把荷兰ASML整不会了

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事关EUV光刻机出口:美国疑神疑鬼,把荷兰ASML整不会了?这事儿说起来真有点荒诞。6月19号,新闻媒体援引彭博社爆出一条消息:美国商务部长卢特尼克私下告诉ASML高层,说你们家一台EUV光刻机可能已经跑到中国去了。ASML当场就懵了,赶紧声明:我们从来没往中国发过EUV机器,连专门给EUV用的零件都没发过。



但卢特尼克那帮人不依不饶。据说今年4月的一场闭门会上,这位商务部长就当面把这事儿甩给了ASML的CEO富凯。会上吵成什么样外人不知道,反正会后俩人在社交媒体上发的都是岁月静好,对EUV的事一个字没提。私下里ASML已经启动了危机模式。

ASML这回是真急了。你想想,一家公司被指控干了一件他压根没干过的事,还得证明自己没干过,这活儿怎么干?ASML硬着头皮上了,掏出了一份文件,标题就叫《没有任何迹象表明ASML EUV系统在中国大陆》。



文件里列了一堆数据:全球目前有314台EUV在运行,26台退役了,中国境内数量是零。还解释了一堆技术原因:EUV机器跟校车一样大,重180吨;产量极其有限;需要ASML工程师持续维护;机器里有自动检测系统,客户自己根本拆不了、搬不走。

ASML的CEO富凯本人5月接受采访时也说得很直白:你没法逆向工程一台你从没拥有过的机器,而中国没人拥有过它。



逻辑上没毛病吧?但美国那帮官员说,我们有证据。什么证据呢?说ASML往中国出口了专门运输EUV的特殊设备,还有EUV能用的零部件。记者追问:那你们到底有没有EUV已经在中国境内的实锤?对方说,信息太敏感,不能透露。再问:既然真有证据,为啥不采取惩罚措施?对方直接不回答了。

这就很有意思了。你说你有证据,但就是不给看;你说人家违规了,但也不动手收拾。这操作,搁谁谁不迷糊?

其实明眼人都看得出来,这出戏醉翁之意不在酒。美国真正想要的根本不是抓ASML现形,而是借着这波施压,逼ASML在接下来的谈判桌上作出更多让步。美国半导体设备制造商一直在抱怨,说荷兰和日本的对华限制比美国松,搞得他们生意不好做。美国那边还在推法案,想进一步收紧ASML的脖子,连浸没式DUV都想禁掉。那可是ASML大约20%的预期营收。



而ASML这边,股价6月18号单日跌了3.31%。市场已经在用脚投票了。

说到底,这事儿最讽刺的地方在哪?在于美国一边拼命封锁中国,一边又草木皆兵到怀疑自己亲手建立的封锁体系已经漏了风。ASML被夹在中间,左也不是右也不是——听美国的,丢了中国市场;不听美国的,连欧洲总部都可能被整。

荷兰外交部倒是说了句公道话,说荷兰极其严格地执行出口限制。但这话在美国那儿能顶多大用,难说。

至于我们这边,不管EUV到底进没进来,自研的脚步从来没停过。路透社去年12月就报道过,中国科研团队在多名ASML前工程师参与下搞出了一套EUV原型机。靠别人施舍从来不是出路,自己手里有家伙才是硬道理。

这场罗生门最后怎么收场,没人知道。但有一件事是确定的:美国越是这样风声鹤唳、有罪推定,就越说明他们心里清楚,封锁的墙,正在一点一点裂开。

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