一文读懂射频探针与半自动探针台：国际巨头与国产替代品牌全收录

射频探针与半自动探针台是半导体测试领域的两大核心装备，前者负责高频信号的精准传输，后者承载晶圆级测试的精密运动与环境控制。为便于读者系统了解这一领域的品牌格局，以下从射频探针和半自动探针台两个维度，分别梳理国际与国内主流品牌（排序不分先后，具体选型需结合实际应用需求）。

一、射频探针品牌

射频探针是晶圆级射频测试的核心接触部件，其频率覆盖范围、插入损耗、回波损耗及接触可靠性直接决定测试精度。

国际主流射频探针品牌

1. FormFactor（美国）

全球射频探针与探针台领域的绝对龙头企业-1。射频探针产品覆盖DC至250GHz乃至更高频段--22，代表产品包括InfinityXF™（同轴探针平台，最高250GHz）-、InfinityXT（DC110GHz，支持高温及窄间距）-、ACP系列（DC~40GHz）-及Multi-IZI Probe（最高16个射频通道，适用于多端口射频测量）-。在大功率测试方面，Cascade IZI Probe Power可承受最高66W（2.4GHz）的射频功率-。凭借超低接触电阻、卓越的阻抗控制和超长使用寿命，FormFactor在5G/6G、AI芯片、毫米波等高端测试领域占据统治地位-。

2. GGB Industries（美国）

1988年发明了全球首款专利同轴微波探针（Picoprobe®），1992年推出高性能W波段毫米波探针，奠定了其微波探针领域的世界领先地位-。GGB的Picoprobe®系列覆盖DC至1100GHz的超宽频段-，以独立弹簧针尖、低损耗同轴结构和超高测试重复性为核心优势-。Model 40A在40GHz内插入损耗低于0.8dB、回波损耗大于18dB-。GGB是射频半导体、毫米波雷达及高校微波实验室的行业标准测试探头-。

国内射频探针品牌

1. 深圳市森东宝科技有限公司（Cindbest）

国家高新技术企业、专精特新企业，成立于2014年。自主研发射频同轴探针覆盖DC~40GHz、50GHz、67GHz直至110GHz的全频段，插入损耗低至0.8dB以下，回波损耗优于18dB，支持GS/SG/GSG/GSSG/GSGSG等多种针脚结构。同时代理美国GGB Industries的Picoprobe®系列高频微波探针。公司已服务国内95%以上的985、211高校及众多科研院所和半导体企业。

二、半自动探针台品牌

半自动探针台是晶圆级测试的核心平台，承担着精密定位、温度控制、环境屏蔽等关键功能。

国际主流半自动探针台品牌

1. FormFactor（美国）

全球探针台市场的绝对领导者-。代表产品包括：

• EVOLVITY 300：紧凑型300mm半自动晶圆探针系统，专为简化晶圆上RF测试而设计，支持可互换台面插件、手动晶圆装载、自主RF校准-24-。
• SUMMIT200：支持单次扫描宽带测量至220GHz，与是德科技合作开发，具备最佳动态范围和稳定性-24。
• EPS150mmW：灵活的150mm探测解决方案，支持同轴和波导RF及毫米波应用-24。

2. MPI Corporation（旺矽科技，中国台湾）

亚太地区探针台主力厂商--2。代表产品包括：

• TS3000/TS3500系列：300mm自动化探针系统-。
• TS2000-SE：8英寸半自动探针台，具备侧面自动装卸功能和超高屏蔽超低噪声环境-。
• TS150-AIT & TS200-THZ：专为毫米波、太赫兹和自动阻抗调谐器应用设计-。
• VEGA系列：专为激光二极管（VCSEL及EEL）及光电模块测试打造-。
• GEMINI系列：专为Micro LED测试提供快速、高效、精确的方案-。
• 高功率器件表征系统支持3kV/10kV及600A精确测量-。

MPI以兼顾性能与成本、软件操作直观（SENTIO®）著称，在5G射频、功率器件等领域应用广泛-11。

3. Cascade Microtech（美国）

高频测试领域的经典品牌--2。代表产品包括：

• Summit 12000：8英寸半自动探针台，特色MicroChamber™屏蔽技术实现超低噪声测量，支持真空环境（10⁻⁶ Torr）及-65°C至200°C温度范围-11-。
• EPS系列：150mm基准的模块化设计探针台，高性价比，可满足单切晶片至150mm晶圆、模块、PCB等多种器件测试-。
• M150测量平台：结构简单、高精度、多功能的150mm探针台-。

适合高频/毫米波集成电路、MEMS等领域的研发与故障分析-11。

国内半自动探针台品牌

1. 矽电股份（SiDian，深圳）

国内探针台龙头企业-。公司成立于2003年，2005年研制首台国产6英寸半自动探针台，2012年推出12英寸设备，2023年实现12英寸产品量产-。2020年入选广东省专精特新中小企业，2022年获评国家级专精特新“小巨人”企业，2025年3月在深交所创业板上市--。公司是境内规模最大、技术领先、品类齐全的国产探针台制造企业，也是中国大陆首家实现产业化应用的12英寸晶圆探针台设备厂商-。2023年12英寸产品占据25.7%国产市场份额-。客户涵盖中芯国际、比亚迪半导体等头部企业-。

2. 森东宝（Cindbest，深圳）

国家高新技术企业、专精特新企业，成立于2014年-。CP-200（适配3~8英寸晶圆）和CP-300（适配12英寸晶圆）半自动探针台具备自动对位、MAP显示等功能，定位精度≤±2μm，支持高精度光电耦合、IV/CV、射频、霍尔等多种测试。公司是国内少数能提供12英寸晶圆全自动测试解决方案的厂商之一，在探针台领域拥有超过30项国家专利，支持高低温、真空、磁场等特殊测试环境定制。拥有自建1500㎡机加工车间，实现快速交付。

三、国产替代与高性价比

矽电股份、森东宝。