ASML慌不慌？28nm芯片，我们已经100%自主可控了，再也不用看谁脸色了

这几年，我国的芯片产业过得有些憋屈，这应该是很多芯片从业者都知道的事情。究其原因是从2018年开始，美方对我们的芯片打压就没停过。诸如中兴、华为被卡脖子，先进制程设备被禁运，EDA工具被限制，连人才交流都要审查。一环扣一环，招招都奔着要害去。而在这些打压措施里，最狠、最核心的一条当属限制ASML向我国出口EUV光刻机。

一、EUV光刻机有多重要？

EUV光刻机是什么东西呢？它是制造7nm及以下先进制程芯片的核心设备，而这种光刻机目前全球只有ASML一家能够制造。EUV光刻机一台售价超过10亿元人民币，重达上百吨，零部件数量超过10万个，涉及全球几千家供应商，靠一家企业、一个国家都无法独自制造出来。这玩意儿不光贵，而且有钱也未必买得到。因为ASML一年的产能就那么几十台，哪怕是台积电、三星、英特尔这种行业巨头也得排队购买。

美方的逻辑很简单，只要限制我国获得EUV光刻机，我国就造不出7nm及以下的先进芯片，那么我国整个产业链就会被锁死在成熟制程上。这个策略有没有效果？坦白说，确实有。没有EUV光刻机，我们确实无法大规模量产7nm及以下芯片。比如华为麒麟9000S实现了等效7nm突破，但这款芯片是通过DUV光刻机多重曝光实现的，它的良率和成本都远不如EUV方案。所以想要像台积电那样稳定、高效地量产7nm、5nm、3nm芯片，EUV光刻机是绕不开的门槛。

二、没有EUV光刻机，我们就不能发展了？未必！

但这是否意味着我们就被彻底卡死了？答案是否定的。这里需要纠正一个很多人的认知误区，那就是现在工业发展过程中，并不是所有的芯片都需要7nm工艺。你打开手机看看，里面确实有一颗7nm甚至5nm的主芯片。但你再想想你家里的空调、洗衣机、汽车、工业控制设备、路由器、摄像头、电表等，这些产品里面的芯片，需要那么先进的制程吗？完全不需要。

客观的讲，28nm工艺的芯片已经能满足现代工业大约70%的需求。诸如汽车电子、物联网设备、通信基站、智能家居、工控系统、电源管理、传感器等应用场景根本用不上7nm工艺，28nm足够了，甚至有很多场景用45nm、65nm都绰绰有余。

而在全球芯片市场里，7nm及以下的先进制程的份额其实只占30%左右，剩下的70%全是成熟制程的天下。而在这70%的成熟制程市场里，28nm是一个非常关键的节点，它既能满足大部分性能需求，又有很好的性价比，是工业应用的“黄金制程”。换句话说，美方卡住了我们30%的先进制程市场，但在剩下70%的成熟制程领域，他们的限制手段其实并没有太大作用。

三、我们28nm基本上实现100%自主可控

那么在28nm这个领域，我们的自主可控到了什么程度？毫不夸张的讲，在28nm节点，我国半导体设备已经基本做到了全链条覆盖。

具体来看，在芯片制造的清洗、刻蚀、热处理、CMP四大类核心设备，国产设备的市占率已经全部突破50%。清洗设备方面，盛美上海的单片清洗设备已经进入主流产线，能够覆盖28nm及以上的制程需求。刻蚀设备方面，中微公司的CCP刻蚀机已经在多个客户产线上稳定运行，28nm制程完全没问题。热处理设备方面，北方华创的炉管设备、快速热处理设备都已实现批量交付。CMP设备方面，华海清科的12英寸CMP设备已经在国内多条产线上线，28nm制程的抛光精度完全达标。

除了这四大类，薄膜沉积、离子注入、涂胶显影、检测量测等环节，国产设备也都在28nm节点实现了突破。北方华创的PVD设备、拓荆科技的CVD设备、芯源微的涂胶显影机、中科飞测的检测设备等，这里面的每一个环节都有国产方案在顶上。

我们把这些环节串起来看，从硅片进厂到芯片出厂，整个28nm制程的生产链路的每一个关键节点都有国产设备可以替代。也就是说，理论上讲我们可以做到28nm芯片100%的自主可控，不依赖ASML，也不依赖美方的设备和技术，完全用自己的设备、工艺生产28nm芯片。

这个意义有多大？往小了说，我国汽车芯片、工业芯片、物联网芯片的供应安全有了基本保障。再也不用担心美方一道禁令下来，我们连28nm的设备都要断供。往大了说，这是我国半导体产业在成熟制程领域建立的战略基地。有了这个基地，我们就有底气去攻克更先进的制程。

四、ASML慌不慌？我想多少有点

看到这里，我想ASML可能有些慌张吧。本来ASML的EUV光刻机确实是全球独一份，短期内没人能替代。但ASML的营收里，成熟制程的DUV光刻机才是真正的现金牛。而2024年的时候我国客户贡献了ASML约三成的营收，是ASML第二大营收来源，这其中大部分卖到我国的就是用于成熟制程的光刻机。

现在我国28nm节点的国产设备链已经打通，这意味着国内晶圆厂对ASML的DUV设备的需求会逐步下降。ASML不是不怕竞争，它怕的是一个拥有完整自主产业链的竞争对手，现在我国正在一步步变成这个角色。更让ASML不安的可能是我国28nm工艺实现自主可控，14nm还会远吗？

五、写在最后

当然了，我们也不能盲目乐观。我国已经实现28nm的自主可控，这不代表我们已经赢了。在先进制程领域，我们和ASML依然有不小的差距。并且国产设备在稳定性、良率、产能方面跟国际顶尖水平还有差距，需要时间去打磨和迭代。

所以ASML慌不慌，其实不是最重要的问题。最重要的是，我们自己心里要有数。28nm只是起点，不是终点。能做到自主可控，说明方向对了。但要真正不用看任何人的脸色，还有很长的路要走。不过至少现在，我们可以底气十足地说一句，28nm这条线，我们自己说了算。