钝化层怎样把做好的电路盖在表面下面

最后一层金属做完，表面还不能停在那里。金属和介质露在空气里，水汽和可动离子会慢慢进去，线会受损，漏电会升高。钝化层是盖在最上面的绝缘膜，把电路封住，只在需要引出的焊盘处开窗口。

这一层常常不止一层膜。下面一层把金属之间的台阶盖严，上面一层更致密，挡住水汽。只盖一层，台阶根部容易留缝，水汽从缝里进。两层的厚度分开定。下面一层要填得上台阶，上面一层要连续，没有针孔。

台阶覆盖是难点。金属线有高度，膜从线的顶部铺到侧面，再铺到线与线之间。侧面如果太薄，后面一加热或一受力，侧面先裂。侧面厚度用截面量。平面上的厚度合格，不代表侧面合格。

生长温度不能高过下面金属和介质能承受的温度。温度高，膜更致密，但金属会鼓，介质会裂。温度低，覆盖好一些，膜比较松，挡水汽的能力差。温度先卡在下面各层允许的上限之内，再在这个前提下把致密性做够。

应力要单独看。张应力过大，膜会裂；压应力过大，膜会皱，或者把下面的金属压变形。应力跟厚度、温度和成分有关。改厚度时应力要重测。厚了更挡水，也可能更容易裂。不能只加厚。

针孔是局部没盖住的小点。针孔底下的金属直接暴露。可以用腐蚀把针孔装饰出来：能被腐蚀出点的地方就是针孔。密度按片抽。某一圈针孔多，先查气流和温度，不要只把厚度加上去。厚度加了，同一个针孔可能还在。

焊盘窗口用光刻和刻蚀开出。窗口要落在焊盘金属上，不能开到旁边的电路上，也不能小到后面的连接碰不到金属。窗口边缘要齐。残留的膜留在焊盘上，后面的连接电阻会高。刻蚀停在金属上，不能把焊盘金属挖薄。

刻窗口时，膜对金属的选择比要够。选择比不够，窗口一打开，金属就开始被挖。小窗口比大窗口后打开。过刻按小窗口来，同时看大窗口的金属还剩多少。

窗口侧壁不要倒成很难覆盖的形状。后面如果还要在窗口里做连接，侧壁太陡或有尖角，连接材料会在角上变薄。侧壁用截面看。平面上窗口尺寸合格，侧壁仍可能不合格。

钝化之后的热过程仍有上限。后面的温度如果高于这层膜能承受的范围，膜会裂，裂纹从窗口边缘往外走。新加的加热步骤，先确认不会撕开已经做好的膜。裂纹不一定当站就看见。

附着看加热之后有没有鼓包。鼓包是这一层和下面一层之间进了气体，或者附着差。界面有残留时最容易鼓。生长前的表面要干净。鼓包和针孔分开记：针孔是膜里的洞，鼓包是界面上的泡。

片内均匀性看厚度图和应力。成环，查温度和气流；成扇，查喷头。边缘的台阶覆盖往往比中心差，因为边缘的膜厚和粒子方向不同。边缘芯片的截面要抽，不能只剖中心。

当站厚度合格，不代表膜足够致密。按批次抽高温高湿之后的结果，看金属有没有受损、漏电有没有升。这一项不只做一次就永远沿用。膜的配方改了，这项要重做。

换气体或换功率时走试验片。功率影响致密和应力，也影响台阶侧面的厚度。试验片把平面厚度、侧面厚度、应力、针孔、开窗之后的金属剩余对齐，再锁给正式片。

窗口的位置要和这一层的对准要求一致。整片窗口往一边偏，一边的焊盘露不全，另一边可能开进电路。位置图和窗口尺寸一起看。只看尺寸，平移会被漏掉。

膜的颜色会随厚度变。颜色不匀，往往就是厚度不匀。颜色只能当提示，定量仍用光学或截面。颜色正常但针孔多，是致密性的问题，不是厚度的问题。不要只把颜色调匀。

正式片抽中心、边缘、最密的金属台阶和最小的焊盘。最密的台阶最难盖，最小的焊盘最容易被过刻。两处都要在抽样里。

开窗之前，表面不要被划伤。划伤穿透这层膜，等于人为的针孔。传片和盒子的清洁按这一层的要求来。划痕沿某一方向成串，先查传片，不要改生长配方。

两层膜之间如果停太久，界面会吸一层水汽，加热后变成鼓包。两层要接紧，等待时间写在流程里。超时的片子先看有没有鼓包，再决定开不开窗口。窗口开在已经鼓起的膜上，窗口边缘会裂。

开窗的光刻胶如果覆盖不足，不该开的地方会被刻出小坑。小坑不一定落在焊盘上，落在电路上方就是一个洞。胶的厚度和窗口密度有关，密集窗口处胶更容易薄。开窗之后除了看焊盘，还要看焊盘以外有没有意外的坑。

整条链路是：膜把金属和介质盖住，台阶侧面有足够厚度，应力不把膜撕开，针孔不过线，焊盘窗口开在金属上且不把金属挖薄。电路被封在膜下面，该引出的焊盘还露在外面。侧面已经薄到能看见下面的金属，就不要靠加平面厚度来假装已经封住。

应力会随着存放慢慢变。刚出腔时没有裂纹，过几天边缘先裂，多半是应力和吸湿叠在一起。存放条件和时间要写上。超过时间的片子先看边缘裂纹，再进入开窗。不要默认出腔时的应力还代表现在。

焊盘金属如果在开窗时被挖出凹坑，后面的连接只碰到凹坑的边，中间是空的。截面要看焊盘还剩多厚，不能只看窗口的平面尺寸。尺寸合格、金属已经快被挖穿，这一刀仍然不能放行。

致密的上层如果应力和下面一层相反，界面会成为裂纹的起点。裂纹沿界面走，平面上先看不见，到开窗时从窗口边缘爆开。两层的应力方向要一起测。方向相反时先改其中一层的配方，不要只加厚上层去盖。

焊盘窗口的刻蚀残留如果是一层透明的薄氧化物，光学上看着像已经打开，电学上却是高阻。开窗之后用探针或截面确认金属是裸的。看起来亮，不代表金属已经露出来。

边缘芯片的钝化往往更厚或更薄。更厚时小焊盘打不开，更薄时针孔变多。边缘的窗口和针孔要跟中心分开统计。只报全片平均厚度，这两种边缘问题都会被平均掉。

传片吸盘如果吸在已经钝化的正面，吸盘上的颗粒会把膜压出凹坑。凹坑不一定穿，但局部变薄，后面更容易裂。吸盘按片数清洁。凹坑成吸盘的形状排列时，先查吸盘，不要改生长功率。

开窗之后如果还要做一次清洗，清洗不能咬焊盘金属，也不能把窗口边缘的膜掀起。掀起从窗口往外走，电路又会露出来。清洗前后各看一次窗口边缘。边缘变毛，先收清洗，不要回去加厚钝化。加厚补不回已经掀开的边缘。

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