河南
快科技10月16日消息，据报道，江苏海思半导体科技有限公司近日接连完成两台光刻机的出厂验收与发运，其中一台即将出口欧洲，这是该公司自2024年以来向境外市场交付的第17台光刻设备。
10月12日，境外客户验收代表团专程到访HISIGK洁净车间，对一台全自动光刻机进行出厂前最终检验。按照双方约定，验收通过后设备立即启程发运，跨越八千公里抵达欧洲客户手中。
10月13日，另一台面向8英寸晶圆的全自动掩模对准光刻机完成调试并装车发运。
该设备采用SMIF天车上料系统，主要用于硅基Micro LED晶圆的图形化制程，为新型显示产业提供关键设备支撑。其正面对准精度优于正负0.5微米，并可选配背面对准模块，对准精度优于正负2微米。
光刻机是半导体制造的核心装备，其出口意味着国产设备在技术成熟度与可靠性方面已达到国际客户要求。HISIGK核心团队深耕黄光区光刻工艺15年，产品谱系从1微米级接触式光刻机发展到350纳米及500纳米分辨率步进式投影光刻机。
目前HISIGK已在苏州相城与成都天府新区建立双生产基地，形成覆盖2至12英寸晶圆的完整产品矩阵，应用范围覆盖MEMS、化合物半导体、功率器件、3D封装及AR与Micro LED等领域。
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