国产EUV仅15W与ASML差16倍，为何说“这条路走得通”？

2026年10月12日，第二十六届中国国际工业博览会在上海国家会展中心开幕。创新科技馆的朗道燧岩展位前，一台极紫外（EUV）光源系统样机迎来首秀——EUV能量大于15W，连续工作超过100小时，国产化率90%，走的是激光诱导等离子体（LPP）路线，与国际主流方案一致。

第二十六届工博会创新科技馆展区内景

这是目前公开展示中进度最靠前的国产EUV光源样机。

消息很快被解读为"国产EUV光源突破"。但把参数和量产标准并排摆，落差一目了然：ASML在2018年推出、已实现批量生产的EUV光源，起步功率就是250W；当前量产机型的光源功率长期徘徊在600W左右。这台样机的功率，只有量产起步门槛的6%。

差距到底意味着什么？把几个角度拆开看，答案会更清楚。

从15W到250W，卡住的不只是功率数字

先看光源本身。功率之所以是命门，因为它直接决定光刻机的吞吐量——每小时能处理多少片晶圆。ASML当前量产机型的光源功率在600W上下，对应每小时约220片晶圆；功率提到1000W后，目标是把产能推到每小时330片。

而EUV光的产生效率极低：输入激光的能量里，只有约2%到4%最终转化为13.5nm的EUV光，其余大多变成废热和锡碎片。提高功率因此不能靠"加大火力"，而要同时搞定更强的热管理、更难的碎片清理、更长的光学元件寿命。

从这个技术逻辑看，朗道燧岩的样机并非没有亮点。它的转换效率"大于2%"，和ASML的2%—4%区间并非天壤之别，说明原理层面没走偏，LPP这条主流路线被国产团队走通了。

但谨慎者手里的数字同样扎实。从15W到250W，是16倍多的功率提升；到ASML当前主流的600W，是约40倍。更关键的是，商用系统要求的不只是"数百瓦级别"的功率，还有长时间运行的高度可靠。样机能连续工作超过100小时，而量产设备面对的是7×24小时不间断的产线工况。

厂商自己给出的答案是：

目前距离量产还需3—5年

这是朗道燧岩现场工作人员的表态。需要说明的是，这是基于现有进度给出的预估，并非既定时间表——研发过程中若遇到新瓶颈，周期存在拉长的可能。

上游拿到对接场景，晶圆厂几乎没有感觉

换到产业链的角度，感受又不一样。

对国内EUV光源的配套零部件厂商来说，这次事件的价值是"拿到了提前对接的入口"。样机国产化率90%，绝大多数核心零部件为自主研发；工博会现场，朗道燧岩已启动与上游材料、设备企业以及潜在下游用户的早期产业关系对接。

工博会现场参会代表开展产业对接交流

产品还没成熟，产业关系就可以先建立起来——这正是把一台尚在"进行时"的样机摆进工博会的用意。

再换到晶圆厂这边，感受几乎是零。15W的原型无法支撑7nm及以下先进制程的量产需求。对成熟DUV设备厂商同样如此——这台EUV样机不构成对DUV技术路线的替代，现有订单和产线应用逻辑没有变化。

对比同期真正落地的动作会更清楚：10月13日，锐科激光发布覆盖TGV玻璃通孔、SiC晶圆等半导体加工场景的飞秒、皮秒激光器；同日，北京卓镭激光中标中科院西安光机所高能量飞秒激光系统项目，金额204万元。

锐科激光展台展示多场景激光技术方案

这些是有金额、有交付对象的具体订单，而EUV样机的产业链影响，还停在"对接"这一步。

ASML的账本，短期看不出波澜

最后把镜头转向海外供应商。

就在样机亮相后不久，ASML于10月14日发布第三季度财报：净销售额117亿欧元，毛利率57.5%，净利润50亿欧元；全年净销售额预计440亿至450亿欧元。CEO傅恪礼表示，客户至少到2028年仍将供不应求，部分客户已开始接洽2029年甚至2030年的设备订单。

从ASML的立场看，这台15W样机没有带来任何短期订单或营收上的实际受损。而且它自己还在往前跑——已完成1000W EUV光源的技术验证，并找到了1500W乃至2000W的清晰路径。双方根本不在同一个竞技层面。

ASML高NA EUV光刻机整机外观展示

不过长期信号确实存在。据媒体报道，ASML方面曾坦言，收紧对华出口管制只会加速中国自主研发替代的步伐。这话指向的其实是一个常识：封锁越紧，自主的动机越强。

把几个视角拼回去，结论并不模糊。对上游配套厂商，这是真实的早期机会，但还没有变成订单；对下游晶圆厂，短期等于没有发生；对ASML，账面上看不出任何变化，反而还在扩产；对国产EUV本身，这是从0到1的路线通行证。

真正的分水岭，不在15W这个数字，而在于能不能把功率从十几瓦做到数百瓦，同时把稳定性、寿命、系统集成可靠性一起做到产线级。

这件事急不得，也有参照可循：ASML的光源从250W走到600W用去数年，再向1000W演进，计划搭载1000W光源的新机型面世时间也在2030年或更晚。一台高端光刻机光源的工程化，从来都是以年为单位计的慢功夫。

所以，15W和250W之间的差距，本质上不是一场可以用"追赶速度"简单衡量的比赛，而是一道工程化的门槛。这台样机证明的不是"马上能替代谁"，而是"这条路中国人走得通"。

至于走得快不快，要看功率和稳定性这两个硬指标接下来怎么爬坡——在它们给出答案之前，把这次亮相直接读成量产能力的兑现，为时过早。