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探针台（Probe Station） 是把微米 / 纳米级的芯片电极用极细探针精准扎到、再接到外部测试仪器的精密平台，相当于微观世界的 “万用表夹具”+“显微镜操作台”，不破坏芯片就能测电性能。
探针台
简单结构（一眼看懂）
- 卡盘（样品台）：放晶圆 / 芯片，可 X/Y/Z 移动、旋转，真空吸附固定。
- 探针座 / 探针：极细钨针 / 镀金针（针尖≈1μm），三维微调，扎芯片 PAD（电极点）。
- 显微镜：高清放大，看探针是否扎准。
- 屏蔽 / 防震：防外界干扰，测微弱电流 / 高阻必备。
- 温控 / 真空腔（可选）：-196℃（液氮）~400℃高温、高真空环境测试。
常见类型
- 手动探针台：研发 / 小批量，人工调针，性价比高（如森东宝 CH-12）。
- 半自动 / 全自动：量产晶圆测试（CP 测试），自动走位、扎针、数据采集。
- 高低温真空探针台：宽温区（77K-473K）、高真空，适合特殊环境测试（如森东宝 CGO-4-N）。
- RF / 高频探针台：测射频芯片、高速器件。
二、探针台可以测试什么（核心用途）
1）半导体芯片 / 晶圆（最常用）
- IV 特性（电流 - 电压）：二极管、三极管、MOSFET、IGBT、SiC/GaN 功率器件的导通 / 截止、击穿电压、漏电、饱和电流。
- CV 特性（电容 - 电压）：MOS 电容、栅氧厚度、掺杂浓度、PN 结电容。
- 霍尔效应：载流子浓度、迁移率、电阻率、导电类型（N/P 型）。
- RF / 高频参数：S 参数、阻抗、噪声、频率响应（射频芯片、5G/6G 器件）。
- 晶圆良率筛选（CP 测试）：切割前测整片晶圆，挑出坏片，节省封装成本。
2）光电器件（光电半导体）
- LED：正向电压、亮度、波长、色温、光效。
- PD/APD（光电探测器）：响应度、暗电流、噪声、带宽。
- 激光器（LD）：阈值电流、输出功率、光谱、模式。
- 太阳能电池：光电转换效率、开路电压、短路电流、填充因子。
3）材料科学（微纳 / 二维材料）
- 电阻 / 电阻率：薄膜、纳米线、石墨烯、MXene、超导材料。
- 微区电学：点测、线扫描、面分布，找缺陷、不均匀性。
- 低温 / 磁场下特性：量子点、纳米器件、二维材料的量子效应、磁阻。
4）MEMS / 传感器
- 压力 / 加速度 / 陀螺仪：灵敏度、线性度、迟滞、噪声。
- 压电 / 压阻材料：机电耦合系数、阻抗、疲劳特性。
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