半导体制造流程中,湿法清洗属于贯穿全工序的基础工艺,晶圆良率直接受清洗设备性能制约,也是国内设备国产化攻坚的重点细分赛道。作为国家级专精特新 “小巨人” 企业,江苏亚电科技专注湿法清洗设备研发制造,依托湿法清洗底层技术同源特性,同步布局硅基半导体、化合物半导体、光伏三大应用市场,走出一条贴合国内产业链需求的国产替代发展路径。
此前国内湿法清洗设备市场长期由海外厂商主导,本土晶圆厂成熟产线、新建产能设备采购高度依赖进口,供应链自主可控存在明显短板。亚电科技自创立起便锁定湿法清洗单一赛道,坚持自研路线,没有盲目拓宽无关业务板块,逐步搭建起完整的研发生产链条。企业实现核心部件自主设计、整机系统集成开发、产线工艺调试、设备性能迭代优化全流程自主可控,能够根据不同客户的制程标准、生产场景,高效匹配定制化湿法设备解决方案。
产品综合覆盖能力构成企业核心竞争优势,现阶段公司设备可适配 8 英寸、12 英寸市场主流晶圆规格,工艺覆盖区间从 350nm 逐步延伸至 28nm 量产阶段,已开展14nm 先进制程相关产品的研发布局。设备品类同时包含槽式、单片式两大主流机型,可匹配晶圆前道制造、布线、封装、晶片回收等二十余种常规及特殊清洗工序。在湿法清洗设备领域,亚电科技是国内少数完整覆盖下游三大应用领域,可以批量为下游领先硅基半导体晶圆厂商、 化合物半导体厂商、光伏厂商提供湿法清洗专用设备的供应商之一。
根据弗若斯特沙利文发布的行业专项报告,2024年亚电科技槽式湿法清洗设备市场占有率在国内本土品牌中排名第二,部分关键技术指标及批量供货规模在国内同类设备中处于领先地位。长期合作客户覆盖国内产业链核心主体,华虹、华润微、芯联集成、青岛芯恩等硅基晶圆制造企业,三安光电、时代电气、比亚迪等化合物半导体、功率器件厂商,以及隆基绿能等光伏龙头均已采购其设备,大批量国产装备落地一线量产产线,有效降低下游客户对进口设备的依赖。
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依托湿法清洗底层工艺技术同源特性,亚电科技将半导体领域积累的高洁净度控制、流体均匀调控、自动化生产等技术平移至光伏赛道。当前光伏行业 N 型电池技术迭代提速,硅片清洗精度标准持续抬升,适配光伏产线的成套湿法设备已获得行业头部客户认可,形成全新业务增长板块,一定程度对冲半导体行业周期性波动带来的经营压力。
面向产业长期发展,亚电科技采取成熟制程规模化落地、先进制程同步研发的双线策略。一方面持续扩大 28nm 及以上工艺设备出货规模,支撑国内晶圆产能扩建需求;另一方面稳步推进 14nm 制程产品技术验证。依托专精特新企业深耕细分领域的技术沉淀与跨行业配套能力,公司持续填补湿法清洗本土供应链缺口,为国内高端制造产业链自主可控提供关键工艺装备支撑。
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