荷兰为防止EUV流入中国再出新招，要求对ASML员工进行跟踪调查

前沿导读

据《快科技》新闻指出，荷兰研究中心发布了一份报告，将中国半导体产业列为极高风险等级，要求ASML等荷兰半导体企业找出前沿技术的工作岗位，对直接接触者进行深度背景调查。此前美国商务部长对ASML提出质疑，认为其违规将EUV光刻机出口给中国大陆企业，但该说法遭到ASML的直接否决，并且美方始终没有向ASML及外界出示相关的违规证据。

提交文件

据媒体指出，ASML此前已经披露过一份关于EUV光刻机的文件，ASML总共制造了340台EUV光刻机，正在运行的有314台，还有26台已经退役。并且服役和退役的设备序列号、客户名称、安装地点全部可以追溯，中国大陆地区的EUV光刻机数量明确为零。

并且ASML官方还表示，EUV光刻机的操作只有特定的ASML工程师知晓，设备内部还搭载特殊处理程序，客户未经ASML允许，无法私自拆卸、运输、重新安装EUV设备。

ASML只是一个大型设备的拼装企业，但是其内部的运行程序完全被ASML一手掌控。

在ASML官网的资料库中，ASML将光刻机总结为高科技硬件与先进软件的结合体，硬件的确很重要，没有硬件就没有光刻机，但软件却是指挥光刻机运行的“大脑”。

ASML的系统团队总共有4000位以上的工程师，这些人来源于全球100多个国家。光刻机的运行系统包含了上百万行代码，制造芯片的精度都是以纳米级进行计算，目前只有ASML人员有这个能力开发出足以持续稳定运行的光刻机系统。

要保证光刻机持续稳定运行，软硬件技术缺一不可。

也正因如此，ASML对美方表示不但软件层面可以确定中国大陆地区没有EUV设备，而且在硬件层面，EUV光刻机的体积庞大、重约180吨、光是运送都需要多辆大型卡车和运输机完成交付，这些理由都可以证明ASML并没有违反规定。

ASML对美方的质疑提出反驳并附上了相应信息进行佐证，而美方声称掌握了证据，却一直没有拿出来进行说明，自始至终都处于一种较为“空泛”的质疑姿态。

这种质疑，传递出了几个关键信号。

第一个就是为下一步扩大管制范围提供理由，美国的match法案正在推进阶段，并未正式实施。match法案不但要求ASML停止为5家大型的中国本土企业继续提供DUV光刻机，还要求ASML停止对中国企业现有设备的技术维护工作。

这次的法案要求几乎将ASML中国大陆地区的业务进行“清零”，如今该法案已经遭到了荷兰政府的反对，并且前段时间荷兰大臣也率领企业代表共同访华，呈现出继续与中国企业友好合作的态度。

第二个就是对ASML施压，ASML是全球唯一可以制造出量产级EUV光刻机的企业，软件技术、硬件组装技术是ASML可以统治市场的核心手段。

ASML作为服务于全球化的企业，对客户信息进行保密是必须要做到的事情。而美方用“质疑”的压力迫使ASML透露EUV光刻机的客户信息，这完全是一种有悖于商业信誉的行为。

技术差距

ASML前任及现任CEO均对美国实施的出口管制持反对态度，其公司前任CEO彼得·温宁克直接就表示美国基于意识形态推动限制对华出口，而不是基于事实。ASML已经与中国企业合作了30多年，双方一直在为技术合作做出贡献，所以ASML有义务维护中国市场。

现任CEO克里斯托弗·富凯指出，ASML被允许出售给中国大陆企业的设备源自于2013、2014年开发的技术，如今这些设备比最先进的技术已落后八代。

当下的问题是西方到底想要把这个技术差距拉到多大？是让中国落后5年、10年、还是15年？如果过度收紧限制，只会迫使中国企业加快自主设备的研发进度。

“追赶技术差距”，这是ASML CEO所提到的一个关键信息。

在EUV光刻机领域挑战ASML的统治地位，这是一个非常有难度的项目。

根据蔡司半导体部门（SMT）发布的资料显示，蔡司半导体总共有9349名员工，其中有2000多人负责研发最前沿的EUV设备。为了开发出商用的EUV光学系统，蔡司半导体积累了20多年的研发经验，并且蔡司和ASML为其投入了数十亿欧元资金，德国政府和欧盟也为其进行资助，光是技术专利就超过了2000项。

制造一台完全独立于ASML技术体系之外的中国EUV设备，不但要面临着蔡司手中2000多项的技术专利，还要面临着在技术生态上面建立一条全新的产业链，这都对中国团队提出了更加困难的技术标准。