划片怎样沿切割道把晶圆分成一颗颗裸片

一整片晶圆上有很多颗相同的芯片，芯片和芯片之间留着切割道。划片沿着切割道把片子分开，让每一颗变成可以单独拿取的裸片。切偏了会切进电路，切得太猛会在边缘崩出裂纹，裂纹在后面的热过程里往里长。

切割道的宽度是事先留好的。刀片或激光的切口有一定宽度，还要加上两边的崩边。道留窄了，切口擦到最外面的电路；道留宽了，一颗芯片占的面积变大。宽度按切口和崩边的实际值来留，不按理想的零崩边来留。

机械划片用高速旋转的薄刀，刀刃上有磨粒，沿着切割道走。进给太快，刀来不及把硅磨掉，边缘崩得厉害；进给太慢，热会积在切口里，刀也磨得更快。转速、进给和冷却液一起定。冷却不够，切口发黑，崩边变大。

刀片厚度决定切口宽度。刀用旧了，刃口变宽、变钝，切口变宽，崩边变大。按切割长度或按崩边数据换刀。新刀的前几刀往往更锋利，崩边和切口要先看，不要拿新刀的第一刀当稳态。

晶圆贴在有黏性的膜上，膜绷在框架里。膜托住切完的裸片，不让它们散掉。黏性不够，切的时候片子移位，刀会切进电路。黏性太大，后面把裸片从膜上取下时容易裂。膜的种类和这一片的厚度、芯片尺寸绑在一起。

通常先沿一个方向把全片切完，再转九十度切另一个方向。转向的时候片子不能松动。松动了，第二向的刀会偏离切割道。两个方向的交叉点最容易崩，交叉点要抽。

切口深度要穿过硅，进到膜里一点点，又不能把膜切透。切浅了，裸片还连着，分开时会撕出裂纹。切深了，膜的支撑变差，裸片在水里移位。深度按片子厚度来设。厚度这一批变了，深度跟着改。

背面减薄之后的片子更脆。同样的进给，薄片的崩边更大，也更容易从边缘裂开。薄片用更慢的进给、更细的磨粒。把厚片的参数套到薄片上，裂纹会成批出现。

激光是另一种开口方式。激光先在切割道里改质或开一道槽，再把片子分开。热影响如果进到电路，电路边缘会受损。能量、速度和离焦，决定槽的深度和热影响有多宽。能量大，槽深，热影响也宽。能量按道宽来收，不能只追求一次切开。

崩边用显微镜量切口两侧裂出去多远。只看切口宽度，崩边可能已经伸进电路。朝向电路的那一侧才是判据。中心和边缘分开记。边缘应力更大时，崩边会更大。

有的裂纹在当站看不见，要到后面加热或弯折才张开。抽一部分裸片做截面，看裂纹有没有往芯片里走。只看表面崩边合格，截面里可能已经有一条斜裂纹。

冷却水要把硅屑冲走。屑积在刀前面，会把崩边放大，也会划伤芯片表面。喷嘴的角度和流量按刀的走向来定。喷嘴偏了，一侧干净，另一侧积屑。积屑的那一侧崩边先变大。

对准靠切割道里的标记，或靠芯片边缘的图案。图案认错一条，整刀会偏一个节距，一排芯片报废。第一刀切下去之前，先低深度对一下，确认落在道的正中。对中的余量如果已经小于崩边，就不要开始全深度切割。

芯片表面如果已经有钝化层，崩边还会把钝化掀起。掀起从切口边缘往里走。掀起的距离要量，不能只量硅的崩边。硅没崩进电路，钝化可能已经裂到电路上方。

换刀、换膜、换厚度时走试验片。试验片把切口宽度、两侧崩边、是否切透、交叉点、表面划伤对齐，再切正式片。只看分开了没有，裂纹会留到后面。

正式片抽中心、边缘，以及第一刀和最后一刀。第一刀是新的对中，最后一刀时刀已经磨过一整片，刃口状态不一样。两头都要看。

切完的裸片在膜上不能互相碰撞。框架搬运时避免冲击。已经有微小裂纹的裸片，碰撞会把裂纹延长。搬运和切割是同一条链路，不是切完就结束。

残留的水和屑要按流程去掉。去掉的时候不能把裸片从膜上撕下来。取下的动作放到该取的那一步，用力要匀。局部用力，裸片会从角上裂开。

刀的高度如果在一片之中漂了，有的道切透，有的道还连着一条筋。连着的筋在分开时被撕开，裂纹从筋的位置往芯片里走。高度要在切割过程中回读，不能只在下刀前设一次。

激光和刀如果接在同一条道上，两种切口的交界最容易留台阶。台阶处的崩边要单独看。不要默认前一种切口合格，后一种就自动对齐。交界偏了，先修对准，不要先加大激光能量。

整条链路是：刀或激光落在切割道正中，切口加上崩边仍留在道里，深度切透硅而不毁掉支撑膜，薄片用更温和的参数，交叉点和边缘单独抽。每一颗裸片的边缘是齐的，电路没有被切到，也没有一条正往里长的裂纹。崩边已经进了电路，就不要把这颗送去后面。

切割道里如果有测试用的金属线，刀切到金属时刃口会黏，切口变粗，后面的道跟着偏。道里的金属要在划片前去掉，或者把刀的参数按金属段分开。不分开，硅道上的崩边会被金属段带坏。

贴膜时片子和膜之间不能有气泡。气泡处局部悬空，刀过来时那一块会振，崩边突然变大。贴膜之后先看气泡，再上刀。崩边只在某一小块变大，先查那一块下面的膜，不要先把全片的进给都放慢。

刀片的冷却液如果温度偏高，切口里的硅更容易黏在刃口上，崩边会越切越大。液温要稳。崩边从第一刀到最后一刀单调变大，先查液温和刃口黏屑，不要先把刀的转速一直往上加。转速加上去，热也会加上去。

框架上的膜如果绷得不匀，片子的一边紧、一边松。松的一边在切割时会让刀，切口走出弧线。弧线用直线的切割道对不齐。贴膜之后看膜的张力是否沿四周一致，再上刀。

分开之后的裸片如果还要在膜上停留，停留期间膜不能被拉长。膜一拉长，裸片之间的缝变宽，边缘互相磕到。磕伤和切割崩边要分开记。磕伤多在角上，崩边沿着切口成一条。角上的伤先查取放，不要再改刀的进给。

激光开槽如果深度不够，后面掰片时裂纹不沿槽走，会拐进电路。槽的深度用截面抽，不只看表面有没有一道痕迹。表面有痕迹、深度不够，分开时仍然会裂偏。先把深度做够，再谈分开的力用多大。

切完核对颗数和切割道的条数。少一条道，就会有两颗还连在一起。连在一起的送到后面，会在取下时被撕裂。条数不对先停，不要把连片的裸片挑出去就算通过。连片说明某一刀没有切到，同一片上相邻的刀也可能偏了。

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