山东
据央广网消息,9月29日,东方晶源披露对上交所科创板IPO审核问询函回复并更新申报稿。
作为国内集成电路良率管理领军企业,东方晶源自2014年成立以来始终以“解国家之忧,创技术之先”为初心使命,聚焦电子束量检测设备与计算光刻软件两大高壁垒、低国产化“卡脖子”赛道,构建了软硬协同的多元化芯片制造良率提升工具布局。
根据申报稿披露,东方晶源是全球最早倡导,也是迄今极少数将电子束量检测设备与计算光刻软件有机结合的公司。在产品端,集成电路量检测设备产品包括CD-SEM(电子束关键尺寸量测设备)、EBI(电子束缺陷检测设备)、DR-SEM(电子束缺陷复检设备)和 HV-SEM(高能电子束设备)四款用于集成电路前道工艺的电子束量检测设备;制造类EDA软件产品主要是计算光刻软件等通过优化改进光刻工艺以提高晶圆制造良率的集成电路制造类EDA软件。
其中EBI为国内首款电子束缺陷检测设备,量产超五年,检测速度提升3倍;HV-SEM为国产首台套,具备45kV着陆电压与穿透晶圆深层的“透视”成像能力; CD-SEM稳定导入8英寸、12英寸成熟产线,适配28nm、14nm节点;单束EBI完成长江存储、长鑫存储量产验证,填补国内空白;PanGen已在逻辑14nm及以上、存储1xnm及以上节点量产,并掌握7nm/5nm关键技术。
完善产品矩阵与技术突破的背后是长期研发积累。据披露文件显示,2023年度至2025年度及2026年上半年,研发投入分别高达2.55亿元、3.26亿元、3.00亿元、1.34亿元,占公司营收比例超94%。截至2026年6月30日,东方晶源拥有260项授权发明专利(境内196项、境外64项),覆盖电子光学、真空系统、高速扫描成像、缺陷分类算法及 OPC、ILT、光刻仿真与良率数据分析等关键技术方向。
同时,作为国家级专精特新“重点小巨人”企业、国家高新技术企业,东方晶源先后承担国家"02专项"、科技攻关、工信部工业强基等十余项国家级科研项目。其电子束量检测设备获得客户G的认可,成为其电子束量检测设备重要国产供应商,并于2026年5至6月取得不含税1.53亿元批量订单;截至9月28日,电子束量检测装备累计出机超百台,EBI量产五年以上持续取得新客户订单。
从技术深耕到场景验证,东方晶源以可量化的指标证明了其具备将技术优势进一步转化为稳定增长的能力。随着IPO进程的推进,东方晶源有望不断精进技术实力和产品性能,为我国集成电路全链条自主可控贡献更坚实的装备与软件支撑。
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