外延怎样在晶圆上再长出一层按晶格排列的硅

抛光好的晶圆不一定直接拿来做晶体管。衬底里的杂质和缺陷，常常不适合做沟道。外延是在这片衬底上再长一层硅，新层的原子接着衬底的晶格往上排，浓度却按这一产品来定。长歪了，后面的电学整片都会偏。

生长在高温反应器里进行。晶圆放在石墨托盘上，托盘转动，让气体从每片表面扫过。硅源气体碰到热的表面就分解，硅原子落到晶格位置上，一层一层加厚。温度不够，原子排不齐，缺陷变多；温度过高，衬底里的杂质往新层里跑，刚定好的浓度又被搅乱。

气体里除了硅源，还有调节掺杂的气体，以及作为载气的氢气。掺杂气体的比例决定外延层的电阻率。比例漂一点，后面的阈值整批跟着漂。流量要稳，管路里不能留下上一批的残气。换气不净，上一批的掺杂会拖进这一批。

厚度由生长速率和时间一起决定。速率又由温度和硅源浓度决定。只把时间加长，边缘和中心的差别会被放大。托盘转速、喷口位置、片子之间的间距，都会让边缘长得和中心不一样。厚度图成环，先查温度和气流；成扇，先查某个喷口是不是堵了。

衬底表面必须干净。残留的氧化、颗粒和金属离子，都会变成缺陷的核。颗粒上长出来的是一个小丘，后面的光刻会把它当成图形缺陷。进反应器之前的表面处理和这一步要接紧。在空气里停太久，表面又会自然长出一层不均匀的氧化。

这层原生氧化如果不去掉，新长的硅不会和衬底连成同一块晶体，中间会夹一层。进腔之后通常先通氢气，把这层薄氧还原掉，再通硅源。还原时间短了，氧化还在；时间长了，衬底表面被氢气咬毛。还原和生长的时间要分开看，不能合成一个钟点。

新层的晶向跟着衬底走。衬底的晶向认错，外延照样能长上去，但后面各向异性刻蚀的侧壁会整批偏。缺口朝向在装片时核对。装反了，不是改气体比例能补回来的。

滑移常出现在边缘。托盘和片子接触的地方温度不匀，硅在高温里会沿晶面滑开，留下一串线。这些线如果伸进芯片，漏电会从这里走。接触点要少、要匀，升降温不要太猛。边缘的滑移和中心的厚度分开抽，不能只看中心是不是亮。

层错和位错会从表面的损伤往上长。衬底抛光留下的损伤没去净，外延会把损伤放大成看得见的缺陷。所以这一步对来片表面的要求很严。来片弯曲过大，贴在托盘上会有局部悬空，悬空处温度偏低，厚度和缺陷一起变差。

衬底杂质在高温下会跑进新层，界面附近出现一段浓度渐变，而不是陡的台阶。需要陡界面时，要缩短这一段的高温时间，或者先长一层很薄的过渡再把浓度拉到目标。只看平均电阻率，界面渐变会被平均掉，看起来像合格。

电阻率在外延层上抽测。探针的电流要走在新层里，不能扎穿到衬底。新层很薄时，读数会混进衬底，看起来像浓度变了。先确认电流主要在新层里，再谈气体比例对不对。边缘和中心都量，不要只报一个中心点。

厚度用光学方法扫整片。光学模型要按这一层的掺杂来校正。浓度差得大，折射率会变，厚度读数跟着偏。新浓度的产品先用截面把真实厚度对上，再拿光学图当日常监控。模型还是旧的，厚度和电阻会对不上，两边都像出了问题。

出腔后马上看颗粒和表面雾。雾多半是温度或气体比例不对，表面原子没排好。颗粒多半是腔壁掉渣，或者来片本身不干净。刚清理完的腔，壁是裸的，前几片的颗粒和成核都会跳。这几片当陪片，不要拿来代表正式片。

腔壁上也会慢慢沉积硅。积厚了会剥落成颗粒。按片数或按累计厚度清理。清理不彻底，壁上残留的掺杂会在后面慢慢放出来，电阻率一圈一圈地漂。清理之后先走陪片把壁养上，再跑正式片。

换硅源或换掺杂气体时，先走试验片。气瓶压力下降时，流量会悄悄变，厚度和浓度一起漂。试验片把厚度图、电阻率图、滑移、雾和颗粒对齐，再锁给整批。只看中心厚度进了带子就放行，边缘可能已经厚出一截。

同一托盘上不同槽位，气流路径不一样。靠近喷口的槽位长得快，背风的槽位长得慢。槽位要和厚度图绑在一起看。某个槽位连续偏，先查那个位置的温度和气流，不要把整锅的时间一起加长。时间一加，已经偏厚的槽位会更厚。

片子背面会碰到托盘。托盘上的痕迹会沾到背面，后面的热步骤里再扩散到边缘。托盘按片数维护。背面异常先查托盘，不要先改正面的气体配方。正面气体改了，背面的沾污还在。

降温也要管。降得太快，边缘先冷，滑移会在降温段出现。生长段没有滑移，不代表整条温度曲线都安全。滑移检查放在完整的升温和降温之后。取片时看边缘，不能只看生长结束那一刻的中心。

如果一次要长好几层不同浓度，每一层的浓度和厚度分开设定、分开量。上一层界面的渐变会吃进下一层。只量最上面一层的平均值，下面一层偏了也发现不了。晶体管如果做在错误的浓度上，后面很难再追回来。

正式片抽中心、边缘，以及托盘上有代表性的槽位。抽样位置写在卡上。只抽中心槽位的中心点，边缘和靠边槽位的问题都看不见。

整条链路是：来片表面干净，晶向认对，氢气去掉原生氧化，温度和硅源把速率做稳，掺杂气体把电阻率锁住，中心和边缘的厚度都进带子，滑移和雾不过线，腔壁和托盘按片数维护。新长出来的硅和衬底是同一块晶体，浓度却是这一产品要的浓度。浓度或厚度还分成两圈，就不要送去后面做器件。

陪片如果只看镜面亮不亮，缺陷会整批漏过去。亮只说明宏观反射还在，说明不了滑移、层错和界面渐变。这三项要有单独的抽查，不能用亮度代替。亮度正常、电阻率却分成两圈，先查掺杂气体和槽位，不要先把生长时间改掉。

托盘上每一片的正面如果被上一片的边缘挡住气流，厚度会在靠近邻片的一侧偏薄。偏薄的这一侧不一定在晶圆的几何边缘，所以只按半径画环会漏掉。厚度图要和装片位置叠在一起看。某一侧重复偏薄，先调整片与片的间距，不要先提高硅源浓度。浓度一提高，没被挡住的区域会更厚。

外延层的缺陷如果只在某一晶向的条纹上出现，多半和来片的切割损伤或滚圆留下的应力有关。换一批来片仍在同一方向出现，先查来片，不要先改反应器的温度分区。温度分区改了，厚度的环会变，条纹却还在。

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